[发明专利]一种筒镜系统的共焦补偿组件及其使用方法

权利要求书

1.一种筒镜系统的共焦补偿组件，所述的筒镜系统包括照明装置(10)、样品(20)、物镜(30)、反射镜(40)、筒镜(50)和成像接收器(60)；

所述的照明装置(10)朝向样品(20)设置，样品(20)在吸收照明装置(10)发出的激光能量后，发出具有特征波长的光束；所述的物镜(30)、反射镜(40)、筒镜(50)和成像接收器(60)依次设置于样品(20)发出的光束的光路上；

所述的反射镜(40)与筒镜(50)之间的光路上还设有带通滤光片；

其特征在于，所述的共焦补偿组件为设置于筒镜(50)与成像接收器(60)之间的用于调节成像点位置的调焦设备。

2.根据权利要求1所述的一种筒镜系统的共焦补偿组件，其特征在于，所述的筒镜(50)内采用双胶合透镜，入光镜面、中间镜面和出光镜面的曲率半径依次为55.573mm、-46.008mm和-206.226mm；入光镜面至中间镜面的中心厚度为6mm，中间镜面至出光镜面的中心厚度为3mm；3个镜面的半口径均为15mm。

3.根据权利要求2所述的一种筒镜系统的共焦补偿组件，其特征在于，所述的双胶合透镜中，入光镜面与中间镜面之间的透镜材质为BK7玻璃，中间镜面与出光镜面之间的透镜材质为F2玻璃。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种筒镜系统的共焦补偿组件，其特征在于，所述的调焦设备为位移台，所述的位移台与筒镜(50)相连，控制筒镜(50)沿光路方向移动；

通过位移台调节筒镜(50)至成像接收器(60)的距离，使筒镜(50)汇聚具有不同特征波长的光于成像接收器(60)上。

5.根据权利要求4所述的一种筒镜系统的共焦补偿组件，其特征在于，所述的位移台移动筒镜(50)的距离范围为-400～+600μm；其中，以+365nm成像焦面为0点位置，负值表示筒镜(50)沿光路朝向反射镜(40)移动，正值表示筒镜(50)沿光路朝向成像接收器(60)移动。

6.根据权利要求1或2或3所述的一种筒镜系统的共焦补偿组件，其特征在于，所述的调焦设备为平板玻璃切换器，所述的平板玻璃切换器上固定有若干不同厚度的平板玻璃，所述的平板玻璃设置于筒镜(50)与成像接收器(60)之间的光路上；

通过在筒镜(50)与成像接收器(60)之间设置不同厚度的平板玻璃，使筒镜(50)汇聚具有不同特征波长的光于成像接收器(60)上。

7.根据权利要求6所述的一种筒镜系统的共焦补偿组件，其特征在于，所述的平板玻璃的材料为H-K9L玻璃。

8.根据权利要求7所述的一种筒镜系统的共焦补偿组件，其特征在于，所述的平板玻璃的厚度的为0.5-4mm。

9.根据权利要求1所述的一种筒镜系统的共焦补偿组件，其特征在于，所述的照明装置(10)为环形照明装置；所述的成像接收器(60)为科学相机。

10.一种如权利要求1-9任一所述的筒镜系统的共焦补偿组件的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

所述的照明装置(10)发出激光照射样品(20)表面，样品(20)吸收激光能量发出具有特征波长的光束，光束被物镜(30)接收并经反射镜(40)反射与带通滤光片滤光后进入筒镜(50)中，其特征在于，通过调焦设备调节成像点位置使筒镜(50)汇聚具有不同特征波长的光于成像接收器(60)上。