[发明专利]一种改善薄膜材料表面形貌的石墨舟及薄膜的生长方法

权利要求书

1.一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，包括：母液盖板(1)、保温盖板(2)、母液板(3)以及衬底板(4)；

所述母液盖板(1)盖设于所述母液板(3)上方，所述衬底板(4)上设置有用于放置衬底的衬底槽(41)，所述母液板(3)上设置有用于放置母液用的母液槽(31)，所述保温盖板(2)盖设于所述母液槽(31)上，所述母液板(3)位于所述衬底板(4)的上方且二者可相对滑动设置。

2.根据权利要求1所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述石墨舟还包括有底板(5)，所述衬底板(4)设置于所述底板(5)上方。

3.根据权利要求1所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述母液板(3)上还设置有汞源保护槽(32)，所述汞源保护槽(32)对称设置于母液槽(31)的两侧。

4.根据权利要求1所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述母液槽(31)的周围设置有隔热槽(33)，所述保温盖板(2)包括顶壁以及自顶壁四周向下延伸的侧壁，所述顶壁设置于所述母液槽(31)的上方，所述侧壁插设于所述隔热槽(33)中。

5.根据权利要求4所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述保温盖板(2)采用一体设计，保温盖板(2)的侧壁为中空结构，或侧壁的厚度大于顶壁的厚度。

6.根据权利要求1所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述保温盖板(2)的材质选自石英或氧化铝隔热材料。

7.根据权利要求1所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述母液槽(31)顶部尺寸大于底部尺寸。

8.根据权利要求1所述的一种水平液相外延石墨舟，其特征在于，所述母液槽(31)底部尺寸等于或略小于衬底槽(41)的尺寸。

9.一种采用权利要求1-8中任一项所述的水平液相外延石墨舟制备薄膜材料的方法，包括如下的步骤：

S1：将水平外延炉进行升温至母液均匀化的温度；

S2：水平外延炉分区降温至母液结晶点附近，使石墨舟的各个温区从左至右呈现一定的温度梯度，推动母液板(3)，使母液槽(31)位于衬底上方；

S3：生长结束，推动母液板(3)，使母液槽(31)离开衬底上方。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于：生长过程中，温度较高的温区使用较快的降温速率，温度较低的温区使用较慢的降温速率，最终保证生长结束时，温度梯度与生长初始相反。