[发明专利]复合阻氢涂层加工方法及复合阻氢涂层在审
| 申请号： | 202211509520.6 | 申请日： | 2022-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN116005108A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 钱政羽;钱涛 | 申请（专利权）人： | 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;C23C16/26;C23C16/52;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/02;C23C14/16;C23C28/00;C23C14/58;C23C16/56;F17C3/12 |
| 代理公司： | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 | 代理人： | 顾祥安 |
| 地址： | 215122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 复合 涂层 加工 方法 | ||
1.复合阻氢涂层加工方法，其特征在于：包括如下步骤：
S1，对基材进行清洗；
S2，采用闭合非平衡磁控溅射工艺在清洗后的基材上沉积得到第一阻氢层；
S3，采用闭合非平衡磁控溅射工艺在所述第一阻氢层上沉积得到第二阻氢层；
S4，在所述第二阻氢层上沉积得到第三阻氢层，所述第三阻氢层为非晶态结构；
在沉积第一阻氢层、第二阻氢层及第三阻氢层时，控制沉积温度不超过200℃。
2.根据权利要求1所述的复合阻氢涂层加工方法，其特征在于：所述第二阻氢层的厚度在2-20微米之间。
3.根据权利要求1所述的复合阻氢涂层加工方法，其特征在于：所述第三阻氢层的厚度在1-10微米之间。
4.根据权利要求1所述的复合阻氢涂层加工方法，其特征在于：所述第三阻氢层是类金刚石薄膜，其厚度在1-5微米之间。
5.根据权利要求1所述的复合阻氢涂层加工方法，其特征在于：所述控制沉积温度不超过200℃是通过交替进行镀膜和冷却来实现。
6.根据权利要求5所述的复合阻氢涂层加工方法，其特征在于：所述沉积温度控制在100-150℃之间。
7.根据权利要求5所述的复合阻氢涂层加工方法，其特征在于：每次镀膜的时间为10-30分钟，每次冷却的时间为10-30分钟。
8.根据权利要求5所述的复合阻氢涂层加工方法，其特征在于：所述冷却是通过向沉积炉内通入氩气循环冷却和水循环冷却实现。
9.根据权利要求8所述的复合阻氢涂层加工方法，其特征在于：所述水循环冷却的冷却水温度控制在15℃-25℃之间。
10.复合阻氢涂层，其特征在于：采用如权利要求1-9任一所述的加工方法加工得到。
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