[发明专利]电沉积系统

权利要求书

1.一种电沉积系统，其特征在于，包括：

电沉积液容器，用于盛放具有放射性的电沉积液；

阳极支撑件，设置于所述电沉积液容器上并部分覆盖所述电沉积液容器的开口，所述阳极支撑件用于支撑所述电沉积系统的阳极；

阴极支撑装置，设置于所述电沉积液容器的上方，用于支撑多个阴极；

电源，用于与所述阳极和所述阴极连接，以为所述阳极和所述阴极供电；

外壳体，所述外壳体形成密闭的腔室；

其中，所述电沉积容器、阳极支撑件以及阴极支撑装置设置于所述腔室内，所述电源设置于所述腔室外。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述外壳体上设置有接口，操作手套密封连接于所述接口，所述操作手套用于供操作者在所述外壳体内进行操作；

所述外壳体上设置有观察窗，用于观察操作以及所述电沉积液在所述阴极上的电沉积反应。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：

加热容器，设置于所述腔室内，所述电沉积容器设置于所述加热容器内，所述加热容器内盛放有加热介质，所述加热容器被设置成加热所述加热介质以加热所述电沉积液。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，还包括：

温度测量装置，设置于所述加热容器上，用于测量所述加热容器的温度；

加热控制器，位于所述腔室外，与所述加热容器和温度测量装置连接，用于根据所述温度测量装置测量到的温度控制所述加热容器的加热。

5.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，

所述电沉积容器内设置有磁力搅拌部；

所述加热容器的底部设置有磁力驱动部，所述磁力驱动部被设置成通过磁力带动所述磁力搅拌部旋转。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述电沉积液容器的上部设置有开口，所述阴极支撑装置包括：

安装板，部分覆盖所述电沉积液容器的所述开口；

至少一个旋转组件，所述旋转组件安装于所述安装板；

连接件，连接于所述旋转组件，所述多个阴极连接于所述连接件，所述连接件用于与电源连接以为所述阴极供电，所述旋转组件用于驱动所述连接件旋转。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述阴极支撑装置还包括：

多个支撑管，所述支撑管固定连接于所述连接件，并且多个所述支撑管沿所述连接件的周向方向均匀分布，所述支撑管用于支撑所述阴极。

8.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述旋转组件包括：

驱动电机，所述驱动电机设置于所述安装板；

转轴，所述安装板上设置有轴孔，所述转轴穿过所述轴孔并且可旋转地连接于所述轴孔内，所述转轴的一端与所述连接件固定连接，另一端与所述驱动电机驱动连接，所述驱动电机用于驱动所述转轴旋转。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于，所述阴极支撑装置还包括：

升降组件，固定于所述腔室内，所述升降组件与所述安装板连接，用于驱动所述安装板并带动所述连接件沿所述转轴的轴向方向移动；其中，

当所述升降组件控制所述安装板向下移动至所述安装板部分覆盖所述电沉积液容器的开口时，所述阴极浸泡于所述电沉积液中。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述升降组件还包括：

两个支撑板；

升降驱动件，固定于所述两个支撑板之间；

滑动件，所述滑动件与所述安装板固定连接，所述升降驱动件与所述滑动件驱动连接，所述升降驱动件用于驱动所述滑动件在所述升降驱动件上移动，以带动所述安装板沿所述转轴的轴向方向移动。