[发明专利]一种单晶炉生产用智能水冷装置

说明书

本发明涉及单晶炉生产技术领域，具体为一种单晶炉生产用智能水冷装置，包括炉体，炉体的内侧固定安装有环形板，环形板的中部通过驱动机构设置有若干沿环形板孔洞内壁环形阵列的第一水冷板，驱动机构用于驱动若干第一水冷板同步向环形板的中心移动或远离其中心，相邻的两个第一水冷板相互靠近的一端皆通过连接结构设置有第二水冷板，连接机构用于当第一水冷板移动时带动若干第二水冷板同步移动，且二者之间的角度不变，若干第一水冷板和若干第二水冷板之间设置有通水机构，通水机构用于将冷却水从第一水冷板和第二水冷板的顶端注入到二者内，且通过二者的底端排到炉体外，解决了现有的单晶炉无法在生产加工的过程中切换不同尺寸的水冷热屏的问题。

技术领域

本发明涉及单晶炉生产技术领域，具体为一种单晶炉生产用智能水冷装置。

背景技术

单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件，目前单晶硅的生长技术有两种，区熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍的采用的方法。单晶炉通过直拉法制造单晶硅时，要将多晶硅置于石英坩埚中，经过高温使其熔化，然后籽晶由顶部降至熔化的多晶硅中，通过控制液面的温度，使熔化的籽晶在周围重新结晶，生成排列整齐的单晶硅棒。传统的控温方式是通过在单晶炉中增加水冷热屏，在水冷热屏中通入冷却液体，晶棒在向上移动经过水冷热屏时，通过水冷热屏带走结晶产生的热量。

现有的技术中，水冷热屏的结构较为固定，当生产不同直径的单晶硅棒时，为了保证单晶硅棒和水冷热屏之间有较小的间隔且加快单晶硅棒的冷却，需要在生产加工前更换合适大小的水冷热屏，当上一组单晶硅棒刚刚生产完成时，单晶炉内的温度较高，难以立刻对水冷热屏进行更换，而现有的单晶炉无法在生产加工的过程中切换不同尺寸的水冷热屏。

基于此，本发明设计了一种单晶炉生产用智能水冷装置，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有可以改变水冷热屏尺寸的功能的单晶炉生产用智能水冷装置，以解决上述背景技术中提出了的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶炉生产用智能水冷装置，包括炉体，所述炉体的内侧固定安装有环形板，所述环形板的中部通过驱动机构设置有若干沿环形板孔洞内壁环形阵列的第一水冷板，所述驱动机构用于驱动若干第一水冷板同步向环形板的中心移动或远离其中心，相邻的两个所述第一水冷板相互靠近的一端皆通过连接结构设置有第二水冷板，所述连接机构用于当第一水冷板移动时带动若干第二水冷板同步移动，且二者之间的角度不变，若干所述第一水冷板和若干第二水冷板之间设置有通水机构，所述通水机构用于将冷却水从第一水冷板和第二水冷板的顶端注入到二者内，且通过二者的底端排到炉体外。

作为本发明的进一步方案，所述连接机构包括第二水冷板靠近环形板中心的一侧皆开设的连接槽，所述第一水冷板相互靠近的一侧皆固定安装有连接块，所述连接块皆处于连接槽的内侧并与之滑动相连接，所述第一水冷板的端部皆与第二水冷板的侧壁紧密贴合，所述第一水冷板的顶端固定安装有第一连接板，所述第二水冷板的顶端皆固定安装有第二连接板，所述第二连接板的底端皆与环形板的顶端滑动连接，所述第一连接板的底端皆与第二连接板的顶端滑动连接，所述第一连接板远离第一水冷板的一端设置有密封机构，所述密封机构用于对第一连接板与连接环之间进行密封。

作为本发明的进一步方案，所述第一水冷板的中部皆开设有第一水槽，所述第二水冷板的中部皆开设有第二水槽，所述第二水槽的内侧皆滑动连接有两个水板，所述连接块远离环形板中心的一端皆固定安装有C形杆，所述C形杆的底端靠近第二水冷板的一侧皆穿过第二水冷板，并与水板固定相连接，相邻的两个所述C形杆的竖直端长度不同，所述C形杆的底端皆固定安装有密封板，所述密封板皆与第二水冷板紧密贴合且对第二水冷板与C形杆的接口处进行遮挡。

作为本发明的进一步方案，所述密封机构包括第一连接板远离环形板中心的一端皆固定安装的弧形杆，所述弧形杆的底端皆与环形板相贴合，所述弧形杆的两端皆固定安装有滑杆，所述滑杆的外侧皆通过拉伸弹簧滑动连接有L形杆，所述L形杆皆与第一连接板和第二连接板紧密贴合。