[发明专利]一种有机去膜液及其制备方法在审
申请号: | 202211520985.1 | 申请日: | 2022-11-30 |
公开(公告)号: | CN115874184A | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 夏金良;饶猛 | 申请(专利权)人: | 上海富柏化工有限公司;珠海松柏科技有限公司;深圳市松柏实业发展有限公司 |
主分类号: | C23F1/34 | 分类号: | C23F1/34 |
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地址: | 200540 上海市金*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 有机 去膜液 及其 制备 方法 | ||
本申请涉及印制电路板加工技术领域,更具体地说,它涉及一种有机去膜液及其制备方法。有机去膜液,由如下重量千分比的组分组成:醇胺50‑70‰、烷基季胺盐20‑40‰、pH缓冲剂8‑12‰、脂肪胺2‑4‰、氮唑类化合物0.1‑2‰、螯合剂3‑7‰、余量为水。本申请中由上述配比制得的有机去膜液,除在精细化电路产品中仍具备优异的干膜去除率外,高达98.5‑99.6%,还可有效满足MSAP制程工艺的需求。
技术领域
本申请涉及印制电路板加工技术领域,更具体地说,它涉及一种有机去膜液及其制备方法。
背景技术
随着电子行业产品的飞速迭代,如何使其产品功能多样化、小型轻量化、精细线路设计化成为了当下发展的必然趋势,因而能满足其综合设计要求的MSAP制程也就应运而生。
相关技术中的MSAP制程工艺,其相比于减成蚀刻法和加成法具有如下优点:1)线路加工能力较强,其线宽间距设计可小于25um;2)加工成本较低,可有效减少Cu和蚀刻液的消耗;3)制程稳定性高,产品性能稳定。
但随着电路设计的精细化和复杂化,相应的其干膜的剥除难度也显著提升,常规以乙醇胺类、四甲基氢氧化胺、氨水等组分复配的有机去膜液已经无法满足其制程要求,干膜的不良率高达3-5%,因而迫切需要提供一种能高效去除干膜的有机去膜液及其制备方法。
发明内容
为保障有机去膜液的干膜去除率和铜面质量,使其可以符合MSAP制程工艺的要求,本申请特提供一种有机去膜液及其制备方法。
第一方面,本申请提供一种有机去膜液,采用如下的技术方案:
一种有机去膜液,由如下重量千分比的组分组成:醇胺50-70‰、烷基季胺盐20-40‰、pH缓冲剂8-12‰、脂肪胺1-5‰、氮唑类化合物0.1-2‰、螯合剂3-7‰、余量为水;
其中氮唑类化合物的结构通式如下:
其中R1选自—NH2或—CO-NH2;
R2选自—COOH、—SH、—NH2、—CH3和—Ph。
通过采用上述技术方案,由上述醇胺、烷基季胺盐、pH缓冲剂、脂肪胺、氮唑类化合物、螯合剂和水共混而成的有机去膜液,其在应用于精细化加工(线宽间距设计小于25um)时,其干膜去除率仍可高达98.5-99.6%;
分析其原因可能如下:
本申请中所用的有机去膜液其主要作用于干膜与铜的交联处,即先通过碱组分咬蚀线路(铜)的侧壁,并生成铜离子,再借助螯合剂促使铜离子脱离线路(铜)的侧壁,然后借助氮唑类化合物中N的孤对电子与零价铜强行结合,通过三者的相互协同作用,起到了铜与干膜的微观切开作用,即可高效高质地完成干膜的剥除;
此外上述有机去膜液对铜的咬蚀速率仅为0.005-0.01um/min,不易对线路精度产生影响的同时,其铜面质量良好,除无肉眼可见缺陷外,AOI扫描时亦基本无假点产生,从而保障了PCB板的加工性能和良品率。
优选的,通式(I)所表示的氮唑类化合物包括如下化合物:
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优选的,所述氮唑类化合物由式(I-1)和式(I-2)按重量比1:(0.3-0.5)组成。
通过采用上述技术方案,由上述组分和/或配比制得的氮唑类化合物,其可有效复配协同螯合剂,协同作用于铜与干膜的交联处,并凭借其对铜与干膜的微观切开作用,完成两者的分离,从而保障制程要求。
优选的,所述螯合剂选自葡庚糖酸钠、乙醇二葡萄糖酸钠、氮川三乙酸钠、1,3-丙二胺四乙酸钠、乙二胺四乙酸钠、谷氨酸二乙酸四钠、羟乙基乙二胺三乙酸钠和二乙烯三胺五乙酸钠中一种或多种。
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