[发明专利]键合晶圆气泡检测装置及分选系统

权利要求书

1.键合晶圆气泡检测装置，用于检测键合晶圆(900)，其特征在于，包括：

平台(100)，安装有红外光源(400)和检测模块(500)，所述红外光源(400)用于照射位于检测位置的所述键合晶圆(900)，所述检测模块(500)包括立柱(510)、固设于所述立柱(510)的第一视觉检测单元(520)和活动安装于所述立柱(510)的第二视觉检测单元(530)，所述第一视觉检测单元(520)正对所述检测位置，所述第二视觉检测单元(530)选择性地置于所述第一视觉检测单元(520)与所述检测位置的连线之间，所述平台(100)设有至少两个承载位置；

晶圆载台(300)，所述晶圆载台(300)与所述承载位置数量相同且一一对应，所述晶圆载台(300)用于将所述键合晶圆(900)在所述检测位置与一个所述承载位置之间移动。

2.根据权利要求1所述的键合晶圆气泡检测装置，其特征在于，检测模块(500)还包括线性致动器(540)，所述线性致动器(540)用于控制所述第二视觉检测单元(530)在遮挡位置与避让位置之间切换；当所述第二视觉检测单元(530)处于所述遮挡位置时，所述第二视觉检测单元(530)接受所述红外光源(400)穿过位于所述检测位置的所述键合晶圆(900)的光线，当所述第二视觉检测单元(530)处于所述避让位置时，所述第一视觉检测单元(520)接受所述红外光源(400)穿过位于所述检测位置的所述键合晶圆(900)的光线。

3.根据权利要求2所述的键合晶圆气泡检测装置，其特征在于，所述第二视觉检测单元(530)固接于所述线性致动器(540)，所述立柱(510)设有致动器滑轨(550)，所述线性致动器(540)滑设于所述致动器滑轨(550)，所述线性致动器(540)能带动所述第二视觉检测单元(530)在所述遮挡位置与所述避让位置之间移动。

4.根据权利要求1所述的键合晶圆气泡检测装置，其特征在于，所述平台(100)设有第一滑轨，所述第一滑轨与所述晶圆载台(300)数量相同且一一对应，所述第一滑轨使所述晶圆载台(300)能在所述检测位置与一个所述承载位置之间滑动。

5.根据权利要求4所述的键合晶圆气泡检测装置，其特征在于，所述晶圆载台(300)包括第一滑台(310)、第二滑台(320)和载台主体(330)，所述第一滑台(310)滑设于所述第一滑轨，所述第一滑台(310)设有第二滑轨，所述第二滑轨的延伸方向与对应的所述第一滑轨的延伸方向呈夹角，所述第二滑台(320)滑设于所述第二滑轨，所述载台主体(330)固接于所述第二滑台(320)上，所述载台主体(330)用于承载所述键合晶圆(900)。

6.根据权利要求5所述的键合晶圆气泡检测装置，其特征在于，所述承载位置设有两个，两条所述第一滑轨首尾相连且均沿第一方向(X)延伸，所述检测位置位于两个所述承载位置之间。

7.根据权利要求6所述的键合晶圆气泡检测装置，其特征在于，所述第二滑轨沿第二方向(Y)延伸，所述第一方向(X)与所述第二方向(Y)相互垂直且均位于水平平面内。

8.根据权利要求7所述的键合晶圆气泡检测装置，其特征在于，所述红外光源(400)、所述检测位置和所述第一视觉检测单元(520)沿第三方向(Z)自下而上排列，所述第三方向(Z)垂直于所述第一方向(X)和所述第二方向(Y)。

9.键合晶圆分选系统，其特征在于，包括机械臂(200)、第一装卸模块(600)、第二装卸模块(700)和权利要求1-8任一项所述的键合晶圆气泡检测装置，所述第一装卸模块(600)与所述第二装卸模块(700)中的一个用于收集检测合格的所述键合晶圆(900)，另一个用于收集检测不合格的所述键合晶圆(900)；所述机械臂(200)能将所述键合晶圆(900)放置于所述承载位置处，或拿取所述承载位置处的所述键合晶圆(900)。

10.根据权利要求9所述的键合晶圆分选系统，其特征在于，所述第一装卸模块(600)用于收集检测不合格的所述键合晶圆(900)，所述第二装卸模块(700)用于收集待检测的所述键合晶圆(900)和检测合格的所述键合晶圆(900)；所述机械臂(200)能将待检测的所述键合晶圆(900)从所述第二装卸模块(700)搬运至所述键合晶圆气泡检测装置，将检测合格的所述键合晶圆(900)搬运至所述第二装卸模块(700)，将检测不合格的所述键合晶圆(900)搬运至所述第一装卸模块(600)。