[发明专利]一种多孔氮化硅陶瓷材料及其去除残碳的方法在审
申请号: | 202211526810.1 | 申请日: | 2022-11-28 |
公开(公告)号: | CN115872784A | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 张冰清;韩耀;张剑;崔凤单;吴焘 | 申请(专利权)人: | 航天特种材料及工艺技术研究所 |
主分类号: | C04B41/91 | 分类号: | C04B41/91;C04B41/00;C04B38/00;C04B35/589 |
代理公司: | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人: | 谭辉 |
地址: | 100074 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多孔 氮化 陶瓷材料 及其 去除 方法 | ||
1.一种去除多孔氮化硅陶瓷材料残碳的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:
(1)对多孔氮化硅陶瓷材料进行微波加热,得到微波加热陶瓷材料;
(2)在有氧环境下对所述微波加热陶瓷材料进行初始热处理,得到初始热处理陶瓷材料。
(3)在无氧环境下对所述初始热处理陶瓷材料进行进一步热处理,得到经过除碳处理的陶瓷材料。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤(1)中,所述多孔氮化硅陶瓷材料为经过浸渍-裂解工艺制得的多孔氮化硅陶瓷材料。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述浸渍-裂解工艺包括3~6次浸渍-裂解循环。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述多孔氮化硅陶瓷材料的孔隙率为50%~10%、碳含量为1~15wt%的多孔氮化硅陶瓷材料。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤(1)中,所述微波加热的微波功率为400~1200W;优选的是,所述步骤(1)中,所述微波加热的加热时间为0.5~5h。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤(2)中,所述处理步骤的气氛为常压静态空气、常压流动空气或流动氧气气氛。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤(2)中,所述初始热处理的处理温度为300~900℃;优选的是,所述步骤(2)中,所述初始热处理的处理时间为1~10h;优选的是,所述步骤(2)中,所述升温速率为1~10℃/min。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤(3)中,所述进一步热处理所采用的气氛为常压静态氨气或常压流动氨气。
9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述步骤(3)中,所述进一步热处理的处理温度为300~900℃;所述步骤(3)中,所述进一步热处理的处理时间为1~10h;优选的是,所述步骤(2)中,所述升温速率为1~10℃/min。
10.根据权利要求1至10中任一项所述的方法制得的多孔氮化硅陶瓷材料;优选的是,所述多孔氮化硅陶瓷材料的含碳量为低于2%,优选低于0.8%,更优选低于0.6%。
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