[发明专利]一种过滤装置

说明书

本申请公开了一种过滤装置，包括筒体，所述筒体内从下至上依次设置有凝结水容纳部、一级过滤部和二级气水分离部，所述一级过滤部的侧面设置有气体入口且内部设置有偏心一级过滤网块组件，所述二级气水分离部的侧面设置有气体出口且内部设置有二级气水分离部件，所述二级气水分离部的下部具有凝结水流出孔，所述一级过滤部的下部设置有凝结水下水管，所述凝结水下水管的下端位于所述凝结水容纳部内。利用上述过滤装置，应用在真空泵前，能够避免石英砂颗粒和水分进入真空泵中，避免真空泵叶轮卡死而造成抽真空效率变低或失效的情况发生，使真空泵高效可靠运转，提升坩埚的品质和生产稳定性。

技术领域

本发明属于过滤设备技术领域，特别是涉及一种过滤装置。

背景技术

石英坩埚是一种用于生产单晶硅的工具，通常采用电弧法加工而成，先将石英砂加入成型模具中，用成型棒将石英砂均匀铺在成型模具的内壁上，通过电极起弧产生的热量将石英砂熔融成型，成型后从模具中取出，然后进行冷却，冷却后经过后道加工形成成品。在石英坩埚生产过程中，坩埚熔融时需要利用真空泵在特定时间内对石英砂抽气减压，以形成石英坩埚，真空泵抽真空压力能否达到工艺要求以及抽真空是否可靠高效，是决定能否得到高品质石英坩埚的必要条件。合格的石英坩埚的内侧必须为无气泡或少气泡的透明层，外侧为气泡和石英玻璃的混合层，然而，在现有生产过程中，由于真空泵前没有过滤装置，真空泵可能吸进石英砂颗粒和其他杂质，这样长时间的抽吸就可能导致真空泵堵塞，使真空泵的叶轮卡死，从而出现真空泵抽吸压力不足甚至抽真空失效的情况，导致坩埚成型过程中的关键工艺得不到有效的保证和实施。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供了一种过滤装置，应用在真空泵前，能够避免石英砂颗粒和水分进入真空泵中，避免真空泵叶轮卡死而造成抽真空效率变低或失效的情况发生，使真空泵高效可靠运转，提升坩埚的品质和生产稳定性。

本发明提供的一种过滤装置包括筒体，所述筒体内从下至上依次设置有凝结水容纳部、一级过滤部和二级气水分离部，所述一级过滤部的侧面设置有气体入口且内部设置有偏心一级过滤网块组件，所述二级气水分离部的侧面设置有气体出口且内部设置有二级气水分离部件，所述二级气水分离部的下部具有凝结水流出孔，所述一级过滤部的下部设置有凝结水下水管，所述凝结水下水管的下端位于所述凝结水容纳部内。

优选的，在上述过滤装置中，所述一级过滤部还包括一级受液盘和螺旋式导流筒，且所述偏心一级过滤网块组件位于气体流动路径上。

优选的，在上述过滤装置中，所述二级气水分离部还包括二级受液盘，所述二级气水分离部件包括多层柱状过滤网块，且所述多层柱状过滤网块位于气体流动路径上，所述凝结水流出孔位于所述二级受液盘上。

优选的，在上述过滤装置中，所述二级气水分离部件还包括用于固定所述多层柱状过滤网块的滤芯自锁压环、滤芯定位销和滤芯自锁卡板，其中，所述滤芯自锁卡板固定于所述滤芯定位销上且可做圆周旋转运动，所述滤芯自锁压环焊接于所述筒体的内壁上，将所述滤芯自锁卡板向外旋转使所述滤芯自锁卡板卡在所述滤芯自锁压环的下部。

优选的，在上述过滤装置中，所述一级过滤部的靠近底部的侧面设置有直角截止阀。

优选的，在上述过滤装置中，所述凝结水容纳部的底部设置有凝结水排出口。

优选的，在上述过滤装置中，所述凝结水容纳部内还设置有溢流口，所述溢流口位于所述凝结水容纳部的底部以上预设距离的侧面处。

优选的，在上述过滤装置中，所述凝结水容纳部的位于所述溢流口以上的侧面位置设置有液位观察镜。

优选的，在上述过滤装置中，所述筒体的靠近顶端的侧面设置有可拆卸式的法兰部件。

优选的，在上述过滤装置中，所述筒体的底部还设置有支撑部件。