[发明专利]一种大厚度高效沉积铜合金电解液及沉积方法

权利要求书

1.一种大厚度高效沉积铜合金电解液，其特征在于，所述电解液的配方包含铜离子源、络合剂、晶粒细化剂和阳极活化剂，所述电解液的pH值为1.0～7.0；

所述铜离子源为冰醋酸铜、柠檬酸铜中的一种或两种，所述铜离子源的含量为120～280g/L。

2.根据权利要求1所述的一种大厚度高效沉积铜合金电解液，其特征在于，所述络合剂为醋酸铵、柠檬酸铵、三乙醇胺中的一种或多种，其含量范围为20g/L-80g/L；

所述晶粒细化剂为聚丙烯酸钠，含量范围为2g/L-20g/L；

所述阳极活化剂为氯化铵，含量范围为10g/L-20g/L。

3.一种在基材表面沉积铜合金层的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：对待沉积工件表面进行预处理；

S2：配置如权利要求2所述的电解液：将所述铜离子源、络合剂、晶粒细化剂和阳极活化剂放入水浴锅中加热搅拌，直至盐类完全溶解，调节pH；

S3：对待沉积工件进行电沉积：将待沉积工件连接电源负极做阴极，阳极为碳棒，沉积过程中碳棒沾取所述电解液在待沉积工件表面反复移动，使金属离子在阴极表面发生沉积。

4.根据权利要求3所述的一种在基材表面沉积铜合金层的方法，其特征在于，在所述步骤S3中，所述电解液的温度为20-50℃。

5.根据权利要求3所述的一种在基材表面沉积铜合金层的方法，其特征在于，在所述步骤S3中，工作电压为12-22V。

6.根据权利要求3所述的一种在基材表面沉积铜合金层的方法，其特征在于，在所述步骤S2中所述电解液配方为冰醋酸铜220-280g/L、醋酸铵35-65g/L、聚丙烯酸钠3-8g/L和氯化铵10g/L-20g/L，且pH为2.0-6.0，在所述步骤S3中，工作电压为6-18V，所述待沉积工件与所述碳棒之间相对运动速度为6-10mm/s。

7.根据权利要求3所述的一种在基材表面沉积铜合金层的方法，其特征在于，在所述步骤S2中所述电解液配方为柠檬酸铜120-180g/L，冰醋酸铜15-60g/L，醋酸铵30-80g/L，聚丙烯酸钠10-20g/L和氯化铵10g/L-20g/L，pH1.0-7.0，在所述步骤S3中，工作电压为12-22V，所述待沉积工件与所述碳棒之间相对运动速度为3-6mm/s。

8.根据权利要求3～6任一权利要求所述的一种在基材表面沉积铜合金层的方法，其特征在于，在所述步骤S3中，在所述待沉积工件表面形成的铜合金沉积层的单层厚度大于500微米。