[发明专利]高纯二氧化硅生产污水零排放处理方法

权利要求书

1.一种高纯二氧化硅生产污水零排放处理方法，其特征在于：该方法为先将高纯二氧化硅生产污水依次与碳酸钙、碳酸镁反应，然后进行沉降分离以得到一次净化水，再将一次净化水过滤后与活性氧化物反应，得到二次净化水，接着将二次净化水依次进行多级过滤、多级反渗透后再进行EDI处理，得到去离子水，最后将去离子水送入高纯二氧化硅生产供水系统供高纯二氧化硅生产使用。

2.根据权利要求1所述的高纯二氧化硅生产污水零排放处理方法，其特征在于：其具体步骤为：

（1）将排放的高纯二氧化硅生产污水排入放置有碳酸钙的水池，污水中的酸根离子与碳酸钙进行中和反应；

（2）中和反应结束后的污水经沉降分离后排入放置有硅酸镁的水池，污水中的氟离子与硅酸镁进行反应，反应结束后再进行沉降分离处理，得到一次净化水；

（3）利用滤带、滤芯依次对一次净化水进行过滤，再送入放置有活性氧化物的活性氧化罐进行活性氧化处理，得到二次净化水；

（4）先利用滤带、滤芯、滤膜对二次净化水进行多级过滤，再利用一级反渗透膜、二级反渗透膜对二次净化水进行多级反渗透处理，最后送入EDI系统进行EDI处理，得到去离子水；

（5）将去离子水送入高纯二氧化硅生产供水系统供高纯二氧化硅生产使用。

3.根据权利要求2所述的高纯二氧化硅生产污水零排放处理方法，其特征在于：在步骤（3）中，使用的滤带、滤芯设置有两组，两组滤带、滤芯并联设置。

4.根据权利要求2所述的高纯二氧化硅生产污水零排放处理方法，其特征在于：在步骤（3）中，在活性氧化罐的输出端设置有用于盛装二次净化水的缓冲罐。

5.根据权利要求2所述的高纯二氧化硅生产污水零排放处理方法，其特征在于：在步骤（4）中，二级反渗透膜、EDI系统产生的废水回流至二次净化水处，作为二次净化水使用。

6.根据权利要求2所述的高纯二氧化硅生产污水零排放处理方法，其特征在于：在步骤（4）中，再额外设置一组一级反渗透膜、二级反渗透膜和EDI系统，步骤（4）中的一级反渗透膜产生的废水作为该组的水源输入。

7.根据权利要求6所述的高纯二氧化硅生产污水零排放处理方法，其特征在于：额外设置的一级反渗透膜、二级反渗透膜和EDI系统产生的废水也作为该组的水源输入。