[发明专利]真空蒸镀成膜装置

权利要求书

1.一种真空蒸镀成膜装置，包括：

用于发射电子束的发射机构，所述发射机构包括通电后能放射电子的灯丝和具有用于容纳所述灯丝的容纳槽的盖板；

用于盛放蒸发材料的盛放机构；

用于将所述电子束约束并聚焦引导至所述盛放机构内的偏转聚焦机构；所述偏转聚焦机构包括用于产生磁场的磁铁、以及用于引导或改变所述磁场空间分布的导磁组件；所述导磁组件包括分别连接于所述磁铁沿其轴向相对的两端的两个导磁板、以及分别与所述导磁板相连的至少两个导磁极；所述导磁板所在的平面垂直于所述轴向，所述导磁极沿第一方向位于所述导磁板的同一侧，所述第一方向垂直于所述轴向；所述导磁板沿所述第一方向的另一侧设置有所述盛放机构；

在第二方向上，所述导磁极位于所述导磁板的高度范围内；所述第二方向、所述第一方向和所述轴向两两相互垂直；

在垂直于所述第二方向的平面上，所述盛放机构的投影、所述导磁极的投影和所述导磁板的投影均无重叠部分。

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀成膜装置，还包括周向设有多个所述盛放机构且能绕第二方向旋转的转盘，所述第二方向、所述第一方向和所述轴向两两相互垂直；在所述第一方向上，所述转盘和所述磁铁位于所述发射机构的不同侧。

3.根据权利要求2所述的真空蒸镀成膜装置，在垂直于所述轴向的平面上，所述转盘的投影、所述导磁极的投影和所述导磁板的投影均无重叠部分。

4.根据权利要求1所述的真空蒸镀成膜装置，所述导磁极包括沿第二方向分布于所述发射机构两侧的第一导磁组件和第二导磁组件，所述第二方向、所述第一方向和所述轴向两两相互垂直；所述第一导磁组件包括关于两个所述导磁板的中间平面对称分布的第一磁极和第二磁极，所述第二导磁组件包括关于两个所述导磁板的中间平面对称分布的第三磁极和第四磁极。

5.根据权利要求1所述的真空蒸镀成膜装置，所述容纳槽具有相对设置的底面和开口、以及围设于所述底面和所述开口之间的侧面；所述开口的轮廓在所述底面所在平面上的投影位于所述底面之外，所述灯丝设置于所述底面上；所述侧面包括在第一方向上相对设置并接入高压负极的第一表面和第二表面，所述第一方向平行于所述底面；所述第一表面和所述底面之间具有第一夹角，所述第二表面和所述底面之间具有第二夹角，所述第一夹角和/或所述第二夹角可调；所述底面所在的平面垂直于所述第一方向。

6.根据权利要求1所述的真空蒸镀成膜装置，所述盛放机构用于盛放蒸发材料的表面垂直于第二方向，所述第二方向、所述第一方向和所述轴向两两相互垂直。

7.根据权利要求1所述的真空蒸镀成膜装置，所述发射机构位于两个所述导磁板之间的中心位置，所述导磁极有偶数个且两两关于两个所述导磁板的中间平面对称分布。

8.根据权利要求1所述的真空蒸镀成膜装置，还包括设置于所述发射机构背离所述盛放机构一侧的扫描线圈，所述电子束能穿过所述扫描线圈，所述扫描线圈用于提供使所述电子束在所述盛放机构表面扫描的扫描磁场。