[发明专利]缺陷检测参数的确定方法、装置、设备及存储介质

权利要求书

1.一种缺陷检测参数的确定方法，其特征在于，包括：

获取待检测设备的每种缺陷类型对应的多个缺陷图像，并获取每个所述缺陷图像对应的掩膜图像，所述多个缺陷图像分别对应的光学检测参数不同；

将每个所述缺陷图像分别与所述对应的掩膜图像进行融合，以生成多个融合图像；

获取每个所述融合图像与参考图像之间的比对结果，所述参考图像为预先确定的所述缺陷图像的评价标准图像，其中，所述比对结果为每个所述融合图像与所述参考图像之间的相似度；

根据各个所述比对结果，确定所述每种缺陷类型对应的目标缺陷图像，其中，所述目标缺陷图像为每种缺陷类型的缺陷样品对应的成像效果最好的缺陷检测图像，其中，所述融合图像与所述参考图像之间的相似度越高，图像质量越高，成像效果越好；

将每个所述目标缺陷图像对应的光学检测参数，确定为所述待检测设备对应的候选缺陷检测参数；

所述获取每个所述缺陷图像对应的掩膜图像，包括：

确定每个所述缺陷图像中的缺陷区域，以及背景区域；

将所述背景区域的像素值赋值为第一预设值，并将所述缺陷区域赋值为第二预设值；

将所述缺陷图像中所述背景区域和所述缺陷区域之外的区域赋值为第三预设值，以生成掩膜图像，其中，所述第三预设值大于所述第一预设值且小于第二预设值。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取待检测设备的每种缺陷类型对应的多个缺陷图像，包括：

基于预设的多组光学检测参数，对待检测设备的每种缺陷类型对应的缺陷样品进行检测，以获取多个缺陷图像。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，其中，每组所述光学检测参数包含以下至少一项：

相机的曝光范围；

所述相机的个数和类型；

光源的数量；

所述光源的亮度范围；

所述相机的移动角度范围；

所述光源的移动角度范围；

所述相机的步长常数；

所述光源的步长常数；

所述光源和所述相机的相对位置。

4.根据权利要求1-3任一所述的方法，其特征在于，所述确定所述缺陷图像中的缺陷区域，以及背景区域，包括：

对每个所述缺陷图像进行图像分割处理，以确定每个所述缺陷图像对应的待检测区域；

确定所述缺陷图像中所述待检测区域之外的区域为背景区域；

确定每种所述缺陷类型对应的参考缺陷区域；

根据每个所述缺陷图像对应的缺陷类型，以及所述缺陷类型对应的参考缺陷区域，确定每个所述缺陷图像中的缺陷区域。

5.根据权利要求1-3任一所述的方法，其特征在于，所述将所述缺陷图像中所述背景区域和所述缺陷区域之外的区域赋值为第三预设值，包括：

响应于确定所述缺陷图像中的待检测区域为中框区域，且所述中框区域为直边，将所述中框区域中所述缺陷区域之外的区域的像素值赋值为第三预设值。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述将所述缺陷图像中所述背景区域和所述缺陷区域之外的区域赋值为第三预设值，包括：

响应于确定所述缺陷图像中的待检测区域为中框区域，且所述中框区域为曲边，

根据所述中框区域中每个像素点的横坐标，以及高斯函数，计算每个所述像素点对应的第三预设值；

将所述中框区域中所述缺陷区域之外的区域的像素值赋值为第三预设值。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述将每个所述目标缺陷图像对应的光学检测参数，确定为所述待检测设备对应的候选缺陷检测参数之后，还包括：

基于预设的映射关系，确定与所述目标缺陷图像的比对结果对应的所述候选缺陷检测参数中每项参数的修正步长；

根据每个所述修正步长，对所述候选缺陷检测参数中对应的参数进行调整。