[发明专利]一种边缘翘曲的结构超滑部件及其制作方法、组件

权利要求书

1.一种边缘翘曲的结构超滑部件的制作方法，其特征在于，包括：

在超滑岛的上表面形成金属层；所述超滑岛内具有超滑界面，所述金属层具有用于使超滑片的边缘向远离所述超滑界面的方向翘曲的内应力；

沿着所述超滑界面分离所述超滑岛，所述超滑片位于所述超滑界面上方，所述超滑片和所述金属层的边缘向远离所述超滑界面的方向翘曲，得到边缘翘曲的结构超滑部件。

2.如权利要求1所述的边缘翘曲的结构超滑部件的制作方法，其特征在于，在超滑岛的上表面形成金属层包括：

在超滑岛的上表面形成金属层，所述金属层包括至少一层金属膜层，每层所述金属膜层的内应力为沿第二方向的拉应力，所述第二方向为由金属膜层的边缘指向中部的方向。

3.如权利要求1所述的边缘翘曲的结构超滑部件的制作方法，其特征在于，在超滑岛的上表面形成金属层包括：

在超滑岛的上表面形成金属层，所述金属层包括至少两层层叠的金属膜层；

其中，距离所述超滑岛最近的所述金属膜层具有沿第一方向的压应力，其余所述金属膜层具有沿第二方向的拉应力，所述第一方向为由所述金属膜层的中部指向边缘的方向，所述第二方向与所述第一方向相反。

4.如权利要求3所述的边缘翘曲的结构超滑部件的制作方法，其特征在于，所述拉应力大于所述压应力。

5.如权利要求3或4所述的边缘翘曲的结构超滑部件的制作方法，其特征在于，在超滑岛的上表面形成金属层，所述金属层包括至少两层层叠的金属膜层包括：

在超滑岛的上表面形成第一金属膜层；

在所述第一金属膜层的表面形成第二金属膜层。

6.如权利要求5所述的边缘翘曲的结构超滑部件的制作方法，其特征在于，在超滑岛的上表面形成第一金属膜层包括：

在超滑岛的上表面形成钛层。

7.如权利要求5所述的边缘翘曲的结构超滑部件的制作方法，其特征在于，在所述第一金属膜层的表面形成第二金属膜层包括：

在所述第一金属膜层的表面形成铂层。

8.如权利要求1所述的边缘翘曲的结构超滑部件的制作方法，其特征在于，在超滑岛的上表面形成金属层包括：

采用电子束蒸发法、物理气相沉积法、溅射法中任一种方法，在超滑岛的上表面形成金属层。

9.如权利要求1所述的边缘翘曲的结构超滑部件的制作方法，其特征在于，沿着所述超滑界面分离所述超滑岛包括：

将探针的针尖与所述金属层的上表面接触，并利用所述探针推动所述超滑片。

10.一种边缘翘曲的结构超滑部件，其特征在于，所述边缘翘曲的结构超滑部件由如权利要求1至9任一项所述的边缘翘曲的结构超滑部件的制作方法制得。

11.一种组件，其特征在于，所述组件包括如权利要求10所述的边缘翘曲的结构超滑部件，以及与所述边缘翘曲的结构超滑部件接触的基板。