[发明专利]一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构及加工装置

说明书

本发明涉及一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构及加工装置，包括顶部敞口设置的外壳，外壳顶部敞口设有透光盖，外壳内设有与外壳底面具有设定距离的第一夹钳和第二夹钳，第一夹钳和第二夹钳均与夹持驱动机构连接以实现相向或背离运动，外壳与喷嘴连接，喷嘴与保护气体供给机构连接以向第一夹钳和第二夹钳之间的空间吹入保护气体，喷嘴对侧设有开设在外壳的出气口，出气口与排气机构连接，采用本发明的固定机构避免了对工作台和工件基底的损伤，加工效果好。

技术领域

本发明涉及柔性电子器件加工技术领域，具体涉及一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构及加工装置。

背景技术

这里的陈述仅提供与本发明相关的背景技术，而不必然地构成现有技术。

柔性电子器件作为电子行业的新兴技术有着广阔的发展前景。柔性电子器件通常是将无机或有机涂层附着在柔性基底上形成薄膜材料，这就导致材料难以采用传统的机械加工方式进行加工。在柔性电子器件制备领域的诸多加工方法中，超快激光在柔性基底附着的材料上刻蚀出所需的电路图案是目前具有广阔应用前景的方法之一。其原因在于超快激光加工能实现非接触加工，且加工精度和效率高，能精准刻蚀出所需的复杂电路图案。

目前已经有用于激光加工柔性电子器件的加工装置，但加工过程中存在如下问题：激光刻蚀时，涂层材料(例如碳层、氧化铟锡等)被激光烧蚀产生的热效应导致柔性基底发生变形；柔性基底在工作台上不易展平导致加工误差较大；对于PET等透光基底，涂层材料被去除后，激光会透过基底损伤工作台，同时造成基底背面的热损伤。

专利申请CN11360417A公开了一种激光的气体辅助加工方法，利用辅助气体对工件进行加工，但是其应用于柔性电子器件加工时，其仍然存在激光损伤工作台、基底背面热损伤的现象，而且将工件直接放置在工作台上，不适合于柔性电子器件的激光刻蚀。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术的不足，提供了一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构，不会损伤工作台，而且保证了加工质量。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

第一方面，本发明的实施例提供了一种用于激光刻蚀的柔性电子器件固定机构，包括顶部敞口设置的外壳，外壳顶部敞口设有透光盖，外壳内设有与外壳底面具有设定距离的第一夹钳和第二夹钳，第一夹钳和第二夹钳均与夹持驱动机构连接以实现相向或背离运动，外壳与喷嘴连接，喷嘴与保护气体供给机构连接以向第一夹钳和第二夹钳之间的空间吹入保护气体，喷嘴对侧设有开设在外壳的出气口，出气口与排气机构连接。

可选的，所述第一夹钳和第二夹钳均包括与外壳滑动连接的夹钳本体，夹钳本体上设有夹持组件，所述夹持驱动机构包括连接杆，连接杆一端与夹钳本体固定，另一端伸出至外壳外部，连接杆伸出至外壳外部的部分螺纹连接旋钮，旋钮与外壳的壳壁转动连接。

可选的，第一夹钳和第二夹钳的夹钳本体底面均通过连接件连接有滑块，滑块与设置在外壳底部壳壁的导轨滑动连接。

可选的，所述喷嘴通过喷雾管与外壳的侧部壳壁固定，喷雾管与保护气体供给机构连接；

进一步的，所述喷嘴采用鸭嘴式结构。

可选的，所述保护气体供给机构包括保护气体瓶，保护气体瓶内盛装有保护气体，保护气体瓶的出气口通过管路与喷嘴连接。

可选的，保护气体瓶与喷嘴之间的管路上安装有单向阀和节流阀，单向阀只允许保护气体由保护气体瓶流向外壳。

可选的，所述外壳安装有压力检测元件，用于检测外壳内部的气体压力。

可选的，所述排气机构包括排气管，排气管一端连接至排气口处，另一端与电磁换向阀的进气端连接，电磁换向阀的出气端连接并联设置的第一管路和第二管路，第一管路安装有只能使气体远离电磁换向阀流动的单向阀，第二管路安装有溢流阀。