[发明专利]一种碳化硅晶圆用金刚石切割液及其制备方法

权利要求书

1.一种碳化硅晶圆用金刚石切割液，其特征在于，以重量百分比计，包括以下原料：

金刚石粉体       8-20%

分散剂           0.5-2.5%

表面活性剂       2-6%

触变胶溶液       10-40%

基础油           31.5-79.5% ；

其中，所述触变胶溶液包括以下原料：

植物油           85-97%

硬脂酸铝         2-10%

油品防老剂T501   1-5%。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆用金刚石切割液，其特征在于，所述金刚石粉体包括单晶金刚石、多晶金刚石、团粒金刚石中的一种或多种，平均粒径0.5-40um。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆用金刚石切割液，其特征在于，所述分散剂为DISPERBYK-2157、DISPERBYK-180、DISPERBYK-110、DISPERBYK-P104S中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆用金刚石切割液，其特征在于，所述表面活性剂为牛脂胺聚氧乙烯（5）醚、油醇聚氧乙烯醚、十二醇聚氧乙烯(3)醚、油胺聚氧乙烯(2)醚、油酸三甘油酯中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆用金刚石切割液，其特征在于，所述基础油为C10-C30的直链烷烃、C10-C30支链烷烃、C10～C30的环烷烃中的一种或多种。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆用金刚石切割液，其特征在于，所述植物油为花生调和油、菜籽调和油、大豆油等中的一种或多种。

7.如权利要求1或6任一所述的触变胶溶液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）按重量百分比称取所需原料：硬脂酸铝、植物油、油品防老剂T501；

（2）将硬脂酸铝、植物油、油品防老剂T501混合，搅拌超声分散5-10min，确保硬脂酸铝均匀分散于植物油中，无明显团聚大颗粒存在；

（3）将步骤（2）所得溶液置于高速乳化分散机下进行高速乳化分散5-10min，确保硬脂酸铝均匀分散；

（4）将上述（3）所得溶液置于加热装置中进行加热搅拌，加热温度160-180℃，加热时间2-8h，确保硬脂酸铝在植物油中均匀分散，溶解完全；

（8）自然冷却至室温，得触变胶溶液，放置备用。

8.如权利要求1-6任一所述的一种碳化硅晶圆用金刚石切割液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）选用金刚石粉体为经过精细分级过筛除大颗粒的精细微粉；

（2）按比例称取所需质量的分散剂、表面活性剂、触变胶溶液、基础油，搅拌超声混合均匀；

（3）将上述（2）所得溶液置于高速剪切乳化分散机下分散15-30min；

（4）将上述（3）所得溶液搅拌同时置于超声波中进行超声处理，在此状态下将上述（1）中的金刚石粉体按比例加入体系中进行搅拌超声分散15-30min，确保金刚石粉体在体系中分散均匀，无团聚颗粒。

9.如权利要求1-6任一所述的碳化硅晶圆用金刚石切割液的悬浮稳定性的评价方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）准备待测碳化硅晶圆用金刚石切割液；

（2）检测碳化硅晶圆用金刚石切割液粘度，转速至少包括0.3、0.6、1.5、3、6；

（3）计算屈服值，屈服值计算公式为：（V0.3-V1.5）/100；

（4）屈服值高于40，则所测碳化硅晶圆用金刚石切割液的悬浮稳定性为优；所测碳化硅晶圆用金刚石切割液屈服值越高，其悬浮稳定性越好。