[发明专利]太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置

权利要求书

1.一种太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，其特征在于，包括依次连接的可独立控温并能对反应气体在所述反应装置的宽度方向上均匀布气的大通量进气室，可分区控制反应气体界面温度的反应通道，可独立控温并能组织反应废气在所述反应装置的宽度方向上均匀排布的大通量排气室，以及可产生负压从而将排气室内的反应废气强制抽离的废气回收处理装置；

进气室包括均匀布气不锈钢腔体和外侧加热控温装置；均匀布气不锈钢腔体内交错布置多道用于均匀布气的进气阻流钢板，进气阻流钢板间距阶梯变化，形成流体阻力渐加的S型均压进气通道；

反应通道包括一个与进气室相连的钢质竖直进气预热道、两个平行于玻璃带的钢质水平反应气道、两个与排气室相连的钢质竖直排气道以及各气道外侧的加热控温装置；

排气室包括均匀控压不锈钢腔体、梯形集气罩以及包围在均匀控压不锈钢腔体和梯形集气罩外侧、可将均匀控压不锈钢腔体和梯形集气罩内反应废气温度控制在露点以上的加热控温装置；均匀控压不锈钢腔体内交错均匀布置多道用于均匀排气的排气阻流钢板，形成气流阻力均匀的S型气流通道。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，其特征在于，进气室、反应通道、排气室均由不锈钢板折板或机械加工而成，用螺栓连接，各加热控温装置直接附着于钢板表面，均采用控制系统电控温。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，其特征在于，均匀布气不锈钢腔体内布置4-8道进气阻流钢板，进气阻流钢板之间净间距4mm～100mm不等分布，气体进入端进气阻流钢板间距最大，气体出去端进气阻流钢板间距最小。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，其特征在于，钢质竖直进气预热道由厚度不小于5mm的预热不锈钢板围成，钢板外侧设置加热控温装置，加热控温装置的控制温度由上往下沿气体行进方向逐渐升高；

钢质水平反应气道由厚度不小于5mm的中心不锈钢板和需要镀膜的玻璃组成，中心不锈钢板水平放置，钢板上方布置加热控温装置；

钢质竖直排气道由厚度不小于5mm的不锈钢板围成，钢板外侧有加热控温装置。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，其特征在于，钢质竖直进气预热道的温度控制范围为180℃～400℃，钢质竖直进气预热道的宽度为10mm～30mm，钢质竖直进气预热道的高度80mm～300mm。

6.根据权利要求4所述的太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，其特征在于，钢质水平反应气道中的中心不锈钢反应区宽度120mm～500mm。

7.根据权利要求1或7所述的太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，其特征在于，钢质竖直排气道温度控制范围为200℃～350℃，钢质竖直排气道的宽度为15mm～40mm，钢质竖直排气道的高度与钢质竖直进气预热道的高度一致。

8.根据权利要求1所述的太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，其特征在于，均匀控压不锈钢腔体内布置4-8道排气阻流钢板，排气阻流钢板之间净间距10mm～100mm。

9.根据权利要求1所述的太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，其特征在于，梯形集气罩的锐角不小于45°。

10.根据权利要求1所述的太阳能电池用透明电极玻璃离线化学气相沉积镀膜的反应装置，其特征在于，进气室、反应通道和排气室之间用螺栓连接，连接处设有隔热材料，所述隔热材料包括硅酸铝纤维毡。