[发明专利]一种整体密封式电子帘加速器在审
申请号: | 202211598792.8 | 申请日: | 2022-12-12 |
公开(公告)号: | CN115866869A | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 李华林;雷泽胜;刘滔;吴新凯;吴昊 | 申请(专利权)人: | 昆山钇铼电子科技有限公司 |
主分类号: | H05H7/14 | 分类号: | H05H7/14;H05H7/00 |
代理公司: | 北京成高专利代理事务所(普通合伙) 16047 | 代理人: | 刘维 |
地址: | 215314 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 整体 密封 电子 加速器 | ||
1.一种整体密封式电子帘加速器,其特征在于,包括:整体密封的真空腔体和安装于所述真空腔体内部的阴栅组件,其中,所述真空腔体包括圆筒腔体、电子束窗组件、端头封板组件、端头法兰组件、高压连接器组件,所述圆筒腔体、所述电子束窗组件、所述端头封板组件、所述端头法兰组件、所述高压连接器组件通过焊接连接形成真空结构,所述真空结构的内部为整体密封的所述真空腔体。
2.根据权利要求1所述的整体密封式电子帘加速器,其特征在于,所述圆筒腔体的侧面具有与轴线平行的第一开口,所述圆筒腔体的两端分别具有第二开口和第三开口;
所述电子束窗组件通过第一焊接位置与所述圆筒腔体的第一开口以焊接方式相连接,且与所述圆筒腔体形成真空密封连接;
所述端头封板组件通过第二焊接位置与所述圆筒腔体的第二开口以焊接方式相连接,且与所述圆筒腔体形成真空密封连接;
所述端头法兰组件的外沿通过第三焊接位置与所述圆筒腔体的第三开口以焊接方式相连接,且与所述圆筒腔体形成真空密封连接;
所述端头法兰组件的中部具有安装孔,所述高压连接器组件的一端通过第四焊接位置与所述端头法兰组件的安装孔以焊接方式相连接,且与所述端头法兰组件形成真空密封连接。
3.根据权利要求2所述的整体密封式电子帘加速器,其特征在于,所述电子束窗组件包括电子束窗框架和钛膜,所述电子束窗框架和所述钛膜通过焊接连接形成真空密封组件,所述电子束窗框架的材质为不锈钢,所述钛膜的材质为钛,所述钛膜的厚度10um至50um。
4.根据权利要求3所述的整体密封式电子帘加速器,其特征在于,所述高压连接器组件包括:陶瓷绝缘体、焊接在所述陶瓷绝缘体一端的第一金属焊接环、焊接在所述陶瓷绝缘体另一端的第二金属焊接环、安装于所述第二金属焊接环上的第一引线端子、第二引线端子和第三引线端子,以及分别将所述三个引线端子与所述第二金属焊接环进行电绝缘的小陶瓷绝缘体;所述高压连接器组件的组成部件通过焊接连接形成真空密封组件。
5.根据权利要求4所述的整体密封式电子帘加速器,其特征在于,所述端头法兰组件材质为不锈钢,所述端头法兰组件的中部开有安装孔,所述安装孔外围设置有一圈螺栓孔,所述螺栓孔为带螺纹的盲孔,所述螺栓孔用于外部高压电缆的安装连接。
6.根据权利要求5所述的整体密封式电子帘加速器,其特征在于,所述端头封板组件和/或所述端头法兰组件均与所述圆筒腔体一体加工形成的。
7.根据权利要求6所述的整体密封式电子帘加速器,其特征在于,所述高压连接器组件还包括设置于所述陶瓷绝缘体上的圆锥形安装面。
8.根据权利要求6所述的整体密封式电子帘加速器,其特征在于,还包括排气管,所述排气管位于所述真空腔体上,所述排气管通过第五焊接位置与所述真空腔体焊接连接。
9.根据权利要求6所述的整体密封式电子帘加速器,其特征在于,还包括离子泵,所述离子泵设置在所述真空腔体上,所述离子泵通过第六焊接位置与所述真空腔体密封连接。
10.根据权利要求6所述的整体密封式电子帘加速器,其特征在于,所述端头法兰组件包括第一法兰、第二法兰、密封铜圈和螺栓,所述第一法兰和所述第二法兰相对设置,所述第一法兰和所述第二法兰的中部均开有安装孔以用于安装高压接头组件,所述高压连接器组件的第一金属焊接环与位于第二法兰安装孔边缘的第四焊接位置通过焊接实现真空密封连接;所述第一法兰和所述第二法兰上均设置有相对的金属密封刀口以用于压紧所述密封铜圈,所述第一法兰和所述第二法兰均具有非金属密封刀口侧,所述第一法兰的非金属密封刀口侧通过第三焊接位置与所述圆筒腔体焊接连接;所述第二法兰的非金属密封刀口侧设置有螺纹孔以用于高压电缆的安装连接。
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