[发明专利]一种新型PERC太阳能电池及其制备方法在审
申请号: | 202211599534.1 | 申请日: | 2022-12-12 |
公开(公告)号: | CN116053330A | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 于天宝;苏小云 | 申请(专利权)人: | 南昌大学 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/068;H01L31/18 |
代理公司: | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人: | 文珊 |
地址: | 330000 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 perc 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种新型PERC太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池包括层叠设置的局部正极、正极面减反射层、氧化硅层、掺杂层、P型硅衬底、钝化层、负极面减反射层、局部宽带隙化合物选择传输层或具有局部钝化层的局部宽带隙化合物选择传输层、局部负极。
2.根据权利要求1所述的新型PERC太阳能电池,其特征在于,所述局部正极的材料为Al、Ca/Al、Mg/Al、Mg/Ag、Cu、Ag、Ti/Pd/Ag、Ti/Au/Ag、LiFx/Al、RbFx/Al中的任意一种;
所述局部负极的材料为Al、Ca/Al、Mg/Al、Mg/Ag、Cu、Au、Ag、Ti/Pd/Ag、Ti/Au/Ag中的任意一种。
3.根据权利要求1所述的新型PERC太阳能电池,其特征在于,所述正极面减反射层的材料为氮化硅、氧化硅、氧化铝、氧化钛、氧化钼、氧化锌、掺杂氧化锌、硫化锌、碳化硅、掺杂氧化硅、氧化钽、氟化镁、氧化锆、氧化铪中的一种或几种叠层;
所述负极面减反层的材料为氮化硅、氧化硅、氧化铝、氧化钛、氧化钼、氧化锌、掺杂氧化锌、硫化锌、碳化硅、掺杂氧化硅、氧化钽、氟化镁、氧化锆、氧化铪中的一种或几种叠层。
4.根据权利要求1所述的新型PERC太阳能电池,其特征在于,所述正极面减反射层的厚度为20-200nm;负极面减反射层的厚度为20-200nm;所述氧化硅层的厚度为0.1-30nm;所述钝化层的厚度为0.1-30nm。
5.根据权利要求1所述的新型PERC太阳能电池,其特征在于,所述钝化层的材料为氢化非晶硅、氢化非晶氧化硅、氢化纳米氧化硅、氢化纳米碳化硅、氮氧化硅、氧化钛、氧化硅、氧化铝中的一种或几种叠层。
6.根据权利要求1所述的新型PERC太阳能电池,其特征在于,所述局部宽带隙化合物选择传输层的材料为碘化亚铜、氯化亚铜、溴化亚铜、氧化镍、氧化钴、氧化钒、氧化钨、氧化钼中的一种或几种叠层;所述局部宽带隙化合物选择传输层的厚度为0.1-30nm。
7.根据权利要求1所述的新型PERC太阳能电池,其特征在于,所述具有局部钝化层的局部宽带隙化合物选择传输层中的局部钝化层的材料为氢化非晶硅、氢化非晶氧化硅、氢化纳米氧化硅、氢化纳米碳化硅、氮氧化硅、氧化钛、氧化硅、氧化铝中的一种或多种叠层,其厚度为0.1-10nm。
8.权利要求1-7任一项所述新型PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:对P型硅衬底进行制绒清洗,然后通过扩散掺杂单面掺入磷,形成PN结,在掺杂层上制备氧化硅层,并沉积具有开槽的正极面减反射层,在开槽处蒸镀局部正极,在P型硅的另一面沉积钝化层和负极面减反射层,然后制备局部宽带隙化合物选择传输层或具有局部钝化层的局部宽带隙化合物选择传输层,最后在局部宽带隙化合物选择传输层或具有局部钝化层的局部宽带隙化合物选择传输层上蒸镀局部负极。
9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述局部宽带隙化合物选择传输层是通过旋涂法、热蒸镀法、磁控溅射法、化学气相沉积法、电子束蒸发法、喷雾热解法、原子层沉积中的任意一种方法制备而成;
所述正极面减反射层或负极面减反射层是通过溶胶凝胶法、热丝氧化升华法、磁控溅射法、化学气相沉积法、电子束蒸发法、化学沉淀法、超重力法、微乳液法中的任意一种方法制备而成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的