[发明专利]一种溅射电源控制系统以及控制方法

权利要求书

1.一种溅射电源控制系统，其特征在于，包括：

单片机，输出3.3V的PWM脉冲信号；

第一比较器，正极输入端与所述单片机的输出端相连，所述第一比较器正极接收低电平时，输出低电平以及停止脉冲输出，所述第一比较器正极接收高电平时，所述第一比较器将3.3V脉冲转变成12V脉冲输出；

图腾柱驱动电路，与所述第一比较器的输出端相连；

并联的两个碳化硅开关管，栅极与所述图腾柱驱动电路的输出端相连，所述并联的两个碳化硅开关管的漏极与容性负载相连，所述并联的两个碳化硅开关管用于在接收高电平时连通，还用于接收低电平时断开；

第二比较器，正极输入端与所述碳化硅开关管的源极相连，所述第二比较器用于在正输入端接收低电平时输出低电平，还用于在正输入端接收高电平时转换输出12V电平；

电流采样电阻，与所述碳化硅开关管的源极相连，用于在放电时，输出至所述第二比较器正极输入端高电平，还用于在不放电时，输出至所述第二比较器正极输入端低电平；

第二高速光耦，输入端与所述第二比较器的输出端相连，所述第二高速光耦的输出端与所述单片机相连，所述第二高速光耦用于接收低电平时输出低电平，还用于在接收高电平12V时输出高电平3.3V；

其中，所述单片机用于在接收所述第二高速光耦输出的高电平3.3V时，停止若干个PWM脉冲信号输出。

2.根据权利要求1所述的一种溅射电源控制系统，其特征在于，所述电源控制系统还包括第一二极管和第二二极管和第三二极管；

所述第二高速光耦的输入端包括第二高速光耦正极和第二高速光耦负极；

其中，所述第二高速光耦正极接12V电压，所述第二高速光耦负极接所述第二比较器输出端，所述第二高速光耦负极还与所述第一二极管串联；所述第一二极管的正极还与所述第二二极管相连后接入第一比较器负极；所述第一比较器负极还与所述第三二极管相连，所述第三二极管正极接5V电压。

3.根据权利要求1或2所述的一种溅射电源控制系统，其特征在于，所述电源控制系统还包括第一高速光耦；

其中，所述第一高速光耦的输入端与所述单片机的输出端相连，所述第一高速光耦的输出端接入5V电压，所述第一高速光耦的输出端的5V电压通过电阻分压使得所述第一比较器正输入端在高电平时输入3.3V脉冲。

4.根据权利要求3所述的一种溅射电源控制系统，其特征在于，所述第一比较器和所述第二比较器分别属于两个芯片。

5.一种溅射电源控制系统的控制方法，其特征在于，包括3或4所述的电源控制系统，所述控制方法包括以下步骤：

在单片机上设定容性负载电压200～1000V，设定单片机接收高电平3.3V时停止输出3.3V PWM脉冲信号的数量；

当电流采样电阻未检测到放电时：

单片机输出3.3V PWM脉冲信号，在低电平时输出至第一比较器低电平，在高电平时输出至第一比较器高电平，第一比较器在高电平时进行转换输出12V高电平，在低电平时输出低电平；接入第一比较器输出端的图腾柱驱动电路在高电平时使得碳化硅开关管导通，容性负载获得200～1000V电压，图腾柱驱动电路还用于在低电平时使得碳化硅开关管断开，容性负载获得0V电压；

当电流采样电阻检测到放电时：

第二比较器正极输入端获得高电压，第二比较器输出端输出12V电压，第二高速光耦输出3.3V高电平至单片机控制端,使单片机停止若干个PWM脉冲信号；所述第一比较器正极输入端输入电压小于所述第一比较器负极输入端获得电压，第一比较器始终输出低电平，从而使得图腾柱驱动电路驱动碳化硅开关管断开，进而停止脉冲输出。