[发明专利]流量供应装置及流量供应方法

权利要求书

1.一种流量供应方法，包括：

将对象装载到轨道上的搬送单元的步骤；以及

设置于所述搬送单元的气体处理单元通过对所装载的所述对象注入吹扫气体来对所述对象的内部进行吹扫的步骤，

其中，所述对象包括内部容纳有基板的前开式晶片传送盒，且所述基板通过所述吹扫被去除烟雾。

2.根据权利要求1所述的流量供应方法，其中，所述气体处理单元包括：

供应气体保存罐，设置在所述搬送单元上，并且存储用于所述吹扫的吹扫气体；以及

回收气体保存罐，设置在所述搬送单元上，并且用于从完成所述吹扫的所述对象回收吹扫气体。

3.根据权利要求2所述的流量供应方法，其中，所述气体处理单元包括：

供应对接模块，对接在所述对象上，并且用于供应所述吹扫气体；以及

排气对接模块，对接在所述对象上，并且用于从所述对象的内部排出所述吹扫气体。

4.根据权利要求3所述的流量供应方法，其中，所述供应对接模块包括：

第一基座部，设置在所述搬送单元上；

第一联动部，以第1-1连接体为媒介与所述第一基座部连接；以及

第一对接部，以第1-2连接体为媒介设置于所述第一联动部，并且对接于所述对象。

5.根据权利要求4所述的流量供应方法，其中，所述第一对接部以所述第一联动部为媒介在设定范围内从所述第一基座部旋转，并且至少在与所述对象相对的区域上可旋转地设置。

6.根据权利要求4所述的流量供应方法，其中，所述第一对接部至少基于与所述对象的下表面的接触来使所述吹扫气体供应到所述对象。

7.根据权利要求4所述的流量供应方法，其中，所述排气对接模块包括：

第二基座部，设置在所述搬送单元上；

第二联动部，以第2-1连接体为媒介与所述第二基座部连接；以及

第二对接部，以第2-2连接体为媒介设置于所述第二联动部，并且对接于所述对象。

8.根据权利要求7所述的流量供应方法，其中，所述第二对接部以所述第二联动部为媒介在设定范围内从所述第二基座部旋转，并且至少在与所述对象相对的区域上可旋转地设置。

9.根据权利要求7所述的流量供应方法，其中，所述第二对接部至少基于与所述对象的下表面的接触来使所述吹扫气体从所述对象排出。

10.根据权利要求3所述的流量供应方法，其中，所述气体处理单元包括用于控制所述供应气体保存罐的吹扫气体流的第一阀模块。

11.根据权利要求10所述的流量供应方法，其中，所述第一阀模块包括：

第1-1阀，用于控制所述供应气体保存罐的一侧的所述吹扫气体流；以及

第1-2阀，用于控制所述供应气体保存罐的另一侧的所述吹扫气体流，

其中，所述第1-1阀布置在所述供应气体保存罐与所述供应对接模块之间。

12.根据权利要求3所述的流量供应方法，其中，所述气体处理单元包括用于控制所述回收气体保存罐的吹扫气体流的第二阀模块。

13.根据权利要求12所述的流量供应方法，其中，所述第二阀模块包括：

第2-1阀，用于控制所述回收气体保存罐的一侧的所述吹扫气体流；以及

第2-2阀，用于控制所述回收气体保存罐的另一侧的所述吹扫气体流，

其中，所述第2-1阀布置在所述回收气体保存罐与所述排气对接模块之间。