[发明专利]一种用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统在审

专利信息
申请号: 202211603304.8 申请日: 2022-12-13
公开(公告)号: CN115950621A 公开(公告)日: 2023-04-11
发明(设计)人: 王良玉;杨朋千;华能;姜卓偲;樊全堂;杨富丽;杨雪莹;朱健强 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 icf 终端 光学 组件 损伤 检测 变焦 成像 系统
【权利要求书】:

1.一种用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统,其特征是,包括同光轴依次放置的前固定组、光阑(S)、变倍组和CCD;

所述的前固定组包括第一双凸正透镜(L1)、第二双凸正透镜(L2)和第一双凹负透镜(L3);

所述变倍组包括第二双凹负透镜(L4)、弯月正透镜(L5)、弯月负透镜(L6)和第三双凸正透镜(L7);

在变焦过程中,确保所述的前固定组不动,将所述的光阑、变倍组作为整体与所述的CCD分别沿着光轴方向移动。

2.根据权利要求1所述的用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统,其特征是,变焦过程中,像面位置沿着光轴发生偏移,需沿着光轴移动CCD的位置获取高质量图像。

3.根据权利要求1所述的用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统,其特征是,所述的前固定组为正透镜组,所述变倍组为正透镜组。

4.根据权利要求1所述的用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统,其特征是,对终端光学系统中第一平面元件(E1)、第二平面元件(E2)、第三平面元件(E3)、第四平面元件(E4)以及球面元件(E5)前表面成像时,所述的变焦成像系统同球面元件(E5)组成一个成像系统进行工作;对球面元件(E5)后表面、第五平面元件(E6)、第六平面元件(E7)成像时,则单独由变焦成像系统工作。

5.跟据权利要求1所述用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统,其特征是,需检测元件厚度不一,对于厚度薄的光学元件,成像物面为光学元件中心厚处,元件前、后表面可一次成像;对于厚度厚的光学元件,需对前、后表面分别成像。

6.跟据权利要求1所述用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦成像系统,其特征是,终端光学组件中部分光学元件倾斜排布,图像接收器CCD需要调节一定角度,从而获取高质量图像。

7.跟据权利要求6所述用于ICF终端光学组件损伤检测的变焦系统,其特征是,所述的ICF终端光学组件,包括,第三平面元件(E3)、第四平面元件(E4)、第五平面元件(E6)、第六平面元件(E7)四块光学元件表面与光轴夹角95°~100°,以及球面元件(E5)的前表面与光轴夹角约为80°,对这些倾斜表面成像时,CCD需要调节一定角度,从而获取高质量图像。

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