[发明专利]一种曲率半径测量方法及系统

权利要求书

1.一种曲率半径测量方法，其特征在于：其包括以下步骤：

(1)搭建检测光路，测量待测镜口径，将待测镜移动至共焦位置；

(2)推动待测镜沿光轴方向移动，在位移测量干涉仪中获取轴向位移距离，在相位测量干涉仪中获取离焦波前；

(3)对离焦波前进行Zernike拟合，获取离焦系数；

(4)在光学设计软件中对测试光路精确建模，将系统波像差中的离焦系数作为系统的优化目标，将待测镜曲率半径作为优化变量，利用光学设计软件的优化功能进行优化，直至软件获取的系统波像差与实际测量获取的系统波像差一致，得到待测镜的曲率半径。

2.曲率半径测量系统，其特征在于：其包括：波前测量干涉仪(1)、待测球面镜(2)、位移测量干涉仪(3)、线性导轨(4)、测量模块、拟合模块、系统波像差优化模块；

测量模块，其配置来测量待测镜的口径；

拟合模块，其配置来对测量获取的系统波像差进行Zernike拟合，获取系统波像差的离焦系数；

系统波像差优化模块，其配置来在光学设计软件中，将系统波像差的离焦系数作为系统的优化目标，将待测镜的曲率半径作为优化变量，利用光学设计软件的优化功能进行优化，直至软件获取的系统波像差与实际测量获取的系统波像差一致。

3.根据权利要求2所述的曲率半径测量系统，其特征在于：波前测量干涉仪的中心出射光束为主光轴、线性导轨移动方向与位移测量干涉仪工作方向与主光轴平行；待测平面镜由线性导轨负载移动，由位移测量干涉仪监视移动距离；发散光束从波前测量干涉仪中出射，经待测球面镜反射，返回波前测量干涉仪，在相位测量干涉仪中获取离焦波前。