[发明专利]边缘抛光装置和边缘抛光方法在审

专利信息
申请号: 202211607168.X 申请日: 2022-12-14
公开(公告)号: CN115922484A 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 孙介楠;陈曦鹏 申请(专利权)人: 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B55/00;B24B27/00
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 李清风
地址: 710000 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 边缘 抛光 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种边缘抛光装置,包括承载待抛光件的承载面,抛光鼓和与所述抛光鼓枢接的多个连接杆,每个所述连接杆的两端分别设置有抛光垫和配重锤,其特征在于,所述连接杆上还设置有用于在所述抛光鼓旋转过程中自动调整所述连接杆与所述抛光鼓的外周面之间的角度的调节结构。

2.根据权利要求1所述的边缘抛光装置,其特征在于,所述调节结构包括与每个所述配重锤连接的定滑轮,以及用于将多个所述定滑轮串联在一起的弹性钢线。

3.根据权利要求2所述的边缘抛光装置,其特征在于,所述弹性钢线的最大弹力小于所述配重锤旋转时的离心力。

4.根据权利要求2所述的边缘抛光装置,其特征在于,所述弹性钢线与多个所述定滑轮连接的连接点的连线形成的环形结构与所述承载面相平行。

5.根据权利要求2所述的边缘抛光装置,其特征在于,在所述抛光鼓的旋转过程中,所述弹性钢线具有第一状态和第二状态;

在所述第一状态下,多个所述连接杆与所述抛光鼓的外周面之间的角度相同,所述弹性钢线形成的环形结构呈圆形,并且所述弹性钢线对每个所述配重锤施加的弹力相同;

在所述第二状态下,多个所述连接杆中包括第一连接杆,所述第一连接杆与所述抛光鼓的外周面之间的第一角度大于或小于除所述第一连接杆之外的其余任一连接杆与所述抛光鼓的外周面之间的第二角度,所述弹性刚线对所述第一连接杆施加靠近或远离所述抛光鼓的方向的力,以减小所述第一角度和所述第二角度之间的差值。

6.根据权利要求1所述的边缘抛光装置,其特征在于,所述连接杆的中部与所述抛光鼓枢接。

7.一种基于权利要求1-6任一项所述的边缘抛光装置的边缘抛光方法,其特征在于,所述调节结构包括与每个所述配重锤连接的定滑轮,以及用于将多个所述定滑轮串联在一起的弹性钢线;

所述抛光方法包括如下步骤:

固定边缘待抛光的待抛光件;

转动抛光鼓,连接杆在离心力的作用下旋转,使得所述连接杆上的抛光垫靠近并与所述待抛光件的边缘接触,抛光所述待抛光件的边缘;

多个所述连接杆中的第一连接杆与所述抛光鼓的外周面之间的第一角度大于除所述第一连接杆之外的其余任一连接杆与所述抛光鼓的外周面之间的第二角度时,所述弹性刚线对所述第一连接杆施加靠近所述抛光鼓的方向的力,以减小所述第一角度和所述第二角度之间的差值;或者

多个所述连接杆中的第一连接杆与所述抛光鼓的外周面之间的第一角度小于除所述第一连接杆之外的其余任一连接杆与所述抛光鼓的外周面之间的第二角度时,所述弹性刚线对所述第一连接杆施加远离所述抛光鼓的方向的力,以减小所述第一角度和所述第二角度之间的差值。

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