[发明专利]包括衬底、功率半导体部件和压力体的功率半导体模块在审
申请号: | 202211622332.4 | 申请日: | 2022-12-16 |
公开(公告)号: | CN116417419A | 公开(公告)日: | 2023-07-11 |
发明(设计)人: | 约尔格·阿蒙;哈拉尔德·科波拉;西蒙·胡特迈尔;拉尔夫·埃勒 | 申请(专利权)人: | 赛米控电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/40 | 分类号: | H01L23/40 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 蔡石蒙;黄刚 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 包括 衬底 功率 半导体 部件 压力 模块 | ||
1.一种功率半导体模块(1),包括:衬底(2),所述衬底(2)具有不导电的绝缘层(2a)和金属层(2b),所述金属层(2b)布置在所述绝缘层(2a)上并被构造用以形成导体轨道(2b’);功率半导体部件(3),所述功率半导体部件(3)布置在所述金属层(2b)上并与所述金属层(2b)导电接触;压力装置(5),所述压力装置(5)在所述绝缘层(2a)的法线方向(N)上布置在所述衬底(2)上方,并且具有压力体(6)和朝向所述衬底(2)延伸的压力元件(7),所述压力元件(7)各自均连接到所述压力体(6),以便通过所述压力装置(5)的弹簧元件(8)在所述绝缘层(2a)的法线方向(N)上弹性移动,所述弹簧元件(8)与相应的所述压力元件(7)相关联,所述压力体(6)被设计用以通过所述弹簧元件(8)在朝向所述衬底(2)的方向上将压力(D1)施加到所述压力元件(7)上,所述压力元件(7)被布置成使得由于所述压力体(6)施加的压力(D1),所述压力元件(7)压到所述衬底(2)的功率半导体部件周围的区域(9)上,所述区域围绕所述功率半导体部件(3)。
2.根据权利要求1所述的功率半导体模块(1),其中,所述压力元件(7)被布置成使得由于所述压力体(6)施加的压力(D1),所述压力元件(7)直接紧挨着所述功率半导体部件(9)压在所述衬底(2)上。
3.根据权利要求1-2中任一项所述的功率半导体模块(1),其中,所述压力元件(7)具有不导电的设计。
4.根据权利要求1-2中任一项所述的功率半导体模块(1),其中,所述弹簧元件(8)被设计为布置在所述压力体(6)和所述压力元件(7)之间的弹性层(10)的层区域(8a)。
5.根据权利要求4所述的功率半导体模块(1),其中,所述弹性层(10)以被构造用以形成所述层区域(8a)的方式设计或者具有单件式设计。
6.根据权利要求4所述的功率半导体模块(1),其中,所述压力元件(7)以材料结合的方式连接到所述层区域(8a),特别是通过粘合连接。
7.根据权利要求4所述的功率半导体模块(1),其中,所述压力元件(7)通过连结板(11)彼此连接,所述连结板被设计成在所述绝缘层(2a)的法线方向(N)上是柔性的。
8.根据权利要求7所述的功率半导体模块(1),其中,所述功率半导体模块(1)具有框架元件(12),所述压力元件(7)通过另外的柔性设计的连结板(13)来连接到所述框架元件(12)。
9.根据权利要求8所述的功率半导体模块(1),其中,所述框架元件(12)连接到所述压力体(6),特别是通过至少一个互锁连接件(14)连接到所述压力体(6),所述至少一个互锁连接件(14)中的每一个互锁连接件特别设计为快速动作连接件。
10.根据权利要求1-2中任一项所述的功率半导体模块(1),其中,相应的所述压力元件(7)在其面向相应的所述弹簧元件(8)的端部区域(7a)处具有压力引入部分(7b),所述压力引入部分(7b)具有面向所述弹簧元件(8)并且垂直于所述绝缘层(2a)的法线方向(N)延伸的平面表面区域(7ba)或者具有面向所述弹簧元件(8)的凹入延伸的表面区域(7bb)。
11.根据权利要求1至2中任一项所述的功率半导体模块(1),其中,所述压力体(6)与所述弹簧元件(8)和所述压力元件(7)一起被设计成单件。
12.根据权利要求11所述的功率半导体模块(1),其中,所述弹簧元件(8)中的至少一个弹簧元件通过在所述压力体(6)中制造的至少一个狭槽(15)形成,并且/或者,其中,所述弹簧元件(8)中的至少一个弹簧元件具有弯曲的轮廓,特别是S形轮廓。
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