[发明专利]一种激光聚变点火靶双锥装配观测及调整系统

权利要求书

1.一种激光聚变点火靶双锥装配观测及调整系统，其特征在于，包括：

观测模块，所述观测模块用于观测激光聚变点火靶双锥；

视觉处理模块，所述数据处理模块接收并处理所述观测系统的观测到的激光聚变点火靶双锥的图像；

调整块，所述调整块根据所述视觉处理系统的处理结果，初步调整激光聚变点火靶双锥的平行；

调整棒阵列，所述调整棒阵列根据所述视觉处理系统的处理结果，精细调整激光聚变点火靶双锥的装配位置。

2.根据权利要求1所述的一种激光聚变点火靶双锥装配观测及调整系统，其特征在于，所述观测模块，包括：

观测相机，两个所述观测相机正交放置，分别用于拍摄激光聚变点火把双锥XY平面及其垂直面的影像，所述观测相机距离激光聚变点火靶双锥的距离为2～20厘米。

3.根据权利要求1所述的一种激光聚变点火靶双锥装配观测及调整系统，其特征在于，所述视觉处理模块，包括：

计算机，所述计算机接收并处理观测模块采集的图像。

4.根据权利要求3所述的一种激光聚变点火靶双锥装配观测及调整系统，其特征在于，所述计算机接收并处理观测模块采集的图像，包括：

将采集的图像由RGB颜色空间转换为HSV颜色空间；

将所述HSV颜色空间的图像进行二值化；

将所述二值化图像进行闭运算操作，获得闭运算图像；

将所述闭运算图像进行轮廓检测，提取待检测图像轮廓；

将所述图像轮廓进行圆度和同心度检测，将最内侧圆形轮廓输出；

对所述检测结果和所述圆形轮廓进行判断。

5.根据权利要求4所述的一种激光聚变点火靶双锥装配观测及调整系统，其特征在于，所述检测和判断的参数为圆度和圆心距离，当圆度＜0.05且圆心距离＜5微米时，表示检测合格。

6.根据权利要求1所述的一种激光聚变点火靶双锥装配观测及调整系统，其特征在于，所述调整块，包含下部压紧块体和上部压紧块体；

其中，所述下部压紧块体有2～10个高度为500～2000微米条形凸台、1个高度为5～2000微米的台阶；

其中，所述上部压紧块体为一方形薄片，其厚度为500～2000微米；

所述下部压紧块体和上部压紧块体压紧时可用于调整和限定激光聚变点火靶双锥的外侧间距。

7.根据权利要求1所述的一种激光聚变点火靶双锥装配及调整系统，其特征在于，所述调整块下部压紧块体的获取过程，包括：

提供一衬底；

在所述衬底上旋涂正性光刻胶作为掩膜，经过前烘、曝光、显影和后烘，采用深反应离子刻蚀或湿法刻蚀，得到第一级台阶，去除光刻胶；

在所述第一级台阶上旋涂正性光刻胶作为掩膜，经过前烘、曝光、显影和后烘，采用反应离子刻蚀或湿法刻蚀，得到第二级台阶，去除光刻胶；

对所述衬底进行划片或激光切割，完成调整块释放，得到调整块下部压紧块体。

8.根据权利要求1所述的一种激光聚变点火靶双锥装配观测及调整系统，其特征在于，所述调整棒阵列，包含四个调整棒，所述四个调整棒均匀分布在激光聚变点火靶双锥外沿；其长度为1～5厘米、端头直径为100～300微米。

9.根据权利要求8所述的一种激光聚变点火靶双锥装配观测及调整系统，其特征在于，通过所述调整棒与激光聚变点火靶双锥外沿接触并提供力的作用，使金属锥体发生位移并保持平衡，实现精细调整激光聚变点火靶双锥的装配位置。

10.根据权利要求1所述的一种激光聚变点火靶双锥装配观测及调整系统，其特征在于，所述调整棒的获取过程，包括：

提供一衬底；

在所述衬底上旋涂正性光刻胶作为掩膜，经过前烘、曝光、显影和后烘，采用深反应离子刻蚀或湿法刻蚀，完成调整棒释放，得到调整棒硬质部分，去除光刻胶；

在所述调整棒硬质部分旋涂正性光刻胶作为掩膜，经过前烘、曝光和显影进行图形化；

在所述调整棒硬质部分及所述光刻胶上旋涂柔性材料；

最后将所述光刻胶去除，得到调整棒。