[发明专利]一种电子级氢氟酸制备用废液回收再利用装置有效

专利信息
申请号: 202211630780.9 申请日: 2022-12-19
公开(公告)号: CN116173574B 公开(公告)日: 2023-08-04
发明(设计)人: 吴俊贤;李文斌;罗霜 申请(专利权)人: 福建天甫电子材料有限公司
主分类号: B01D29/01 分类号: B01D29/01;B01D29/72;B01D29/94;C01B7/19
代理公司: 北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司 11642 代理人: 郭红燕
地址: 364204 福建省龙*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 电子 氢氟酸 制备 废液 回收 再利用 装置
【权利要求书】:

1.一种电子级氢氟酸制备用废液回收再利用装置,包括碱洗桶(1),其特征在于,所述碱洗桶(1)的内壁上端固定连接有导流块(2),所述碱洗桶(1)的内壁贯穿开设有开口(3),所述碱洗桶(1)的内部设置有用于过滤氢氟酸废气碱洗后废液的筛分组件(4),所述筛分组件(4)的底部设置有用于拍打筛分组件(4)上残留氟化钙的打击组件(5),所述碱洗桶(1)的外侧固定连接有用于收集氟化钙的收集组件(6);

所述筛分组件(4)包括第一转动轴(401)、筛分板(402)、滤网(403)和托板(404),所述第一转动轴(401)转动连接在碱洗桶(1)的内部,所述筛分板(402)固定连接在第一转动轴(401)的中部,所述筛分板(402)的中部设置有用于过滤氟化钙的滤网(403),所述筛分板(402)的上表面靠近第一转动轴(401)的一侧固定连接有托板(404);

所述打击组件(5)包括活动腔(501)、固定座(502)、固定架(503)、固定板(504)、电机(505)、第一传动辊(506)、第二传动辊(507)和传动带(508),所述活动腔(501)设置在碱洗桶(1)的内部,所述固定座(502)通过螺栓固定连接在筛分板(402)的下表面,所述固定架(503)固定连接在固定座(502)的底部,所述电机(505)通过固定板(504)固定连接在固定架(503)的外侧端,所述第一传动辊(506)固定连接在电机(505)的输出端上,所述第二传动辊(507)转动连接在固定架(503)的内侧端上,所述传动带(508)的一端与第一传动辊(506)传动连接,所述传动带(508)的另一端与第二传动辊(507)传动连接;

所述打击组件(5)还包括转动盘(509)、偏心杆(510)、固定轴(511)、摆动杆(512)、摆动槽(513)、打击头(514)和电触模块(515),所述转动盘(509)固定连接在第二传动辊(507)的内侧,所述偏心杆(510)固定连接在转动盘(509)的内侧,所述固定轴(511)固定连接在电机(505)的内侧,所述摆动杆(512)的外侧端转动连接在固定轴(511)上,所述摆动槽(513)开设在摆动杆(512)的中部,所述偏心杆(510)的中部活动连接在摆动槽(513)的内部,所述打击头(514)固定连接在摆动杆(512)的内侧端上表面,所述电触模块(515)固定连接在碱洗桶(1)的内壁;

所述收集组件(6)包括收集腔(601)、收集口(602)、第二转动轴(603)、密封板(604)、密封塞(605)、第一齿轮(606)、升降槽(607)、转动槽(608)和第二齿轮(609),所述收集腔(601)固定连接在碱洗桶(1)的外壁靠近开口(3)的一侧,所述收集口(602)设置在收集腔(601)的底部,所述第二转动轴(603)转动连接在收集腔(601)的内侧上端,所述密封板(604)固定连接在第二转动轴(603)的中部,所述密封塞(605)固定连接在密封板(604)的内侧表面,所述第一齿轮(606)固定连接在第二转动轴(603)的外侧端,所述升降槽(607)开设在收集腔(601)与碱洗桶(1)的连接处,所述转动槽(608)开设在升降槽(607)的下端,所述第二齿轮(609)固定接在第一转动轴(401)的外侧端,所述第二齿轮(609)转动连接在转动槽(608)的内部,所述齿杆(610)限位活动连接在升降槽(607)的内部,齿杆(610)的底部与第二齿轮(609)啮合,所述齿杆(610)的顶部与第一齿轮(606)啮合。

2.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸制备用废液回收再利用装置,其特征在于,所述滤网(403)的内部直径大于导流块(2)的内部直径,所述托板(404)的形状设置为圆弧形。

3.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸制备用废液回收再利用装置,其特征在于,所述电机(505)与电触模块(515)电性连接,所述电触模块(515)与设备外接电源电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸制备用废液回收再利用装置,其特征在于,所述偏心杆(510)的摆动范围与摆动槽(513)的长度相互适配,所述打击头(514)的顶部设置为具有一定弹性。

5.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸制备用废液回收再利用装置,其特征在于,所述收集口(602)的底部外接有回收设备,所述第二转动轴(603)与外接的驱动源连接,所述密封塞(605)的尺寸与开口(3)的尺寸相互适配。

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