[发明专利]基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器

权利要求书

1.基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器，其特征在于，包括器件部件和所述器件部件前的光学控制系统，所述器件部件包括石英衬底，生长在石英衬底上表面的二氧化钒薄膜，用于加热的铜板和所述石英衬底与铜板间用于优化热接触的导热硅脂，所述光学控制系统包括用于产生泵浦激光驱动所述二氧化钒薄膜相变的泵浦激光器，用于会聚泵浦激光光束为准平行光束的会聚透镜和用于调制泵浦激光的可切换掩模。

2.根据权利要求1所述的基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器，其特征在于，所述二氧化钒薄膜的电导率能够通过温度和泵浦激光功率调节。

3.根据权利要求1所述的基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器，其特征在于，生长二氧化钒薄膜的石英衬底的布儒斯特角由二氧化钒薄膜的电导率决定，布儒斯特角能够通过泵浦激光功率调节。

4.根据权利要求1所述的基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器，其特征在于，所述铜板用于对二氧化钒薄膜施加偏置温度，所述导热硅脂用于降低石英衬底下表面与铜板间的热阻，减小热串扰。

5.根据权利要求1所述的基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器，其特征在于，所述可切换掩模为透射式或反射式掩模或采用数字微镜阵列。

6.制备如权利要求1所述的基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)衬底预处理：清洗石英衬底；(2)生长二氧化钒薄膜：采用磁控溅射法在所述石英衬底上表面沉积二氧化钒薄膜；(3)在石英衬底下表面涂敷上导热硅脂，并紧贴在尺寸大于石英衬底的铜板上；(4)光学控制系统搭建：固定所述步骤(3)后的器件部件，于器件部件前放置泵浦激光器和会聚透镜，并固定泵浦激光器于会聚透镜焦点处，然后在会聚透镜与器件部件之间放置可切换掩模，调节可切换掩模的位置使得泵浦激光经过可切换掩模后的图案投影到二氧化钒薄膜上，固定可切换掩模的位置。

7.如权利要求1所述基于可调布儒斯特角效应的光控太赫兹宽带波束调控器的光学控制方法，其特征在于，包括如下步骤：1)泵浦激光器产生发散的泵浦激光光束，经会聚透镜后转换为准平行光束；2)可切换掩模对泵浦激光进行空间调制，调制后的泵浦激光入射到二氧化钒薄膜上对二氧化钒薄膜的电导率进行空间调制，利用可调布儒斯特角效应在二氧化钒薄膜上形成反射型1比特相位的周期分布；3)通过切换掩膜改变相位编码周期，进而实现太赫兹波束的动态调控。