[发明专利]一种222纳米准分子灯板及其制作方法

权利要求书

1.一种222纳米准分子灯板，包括平行设置的电介质板，所述电介质板能够透过222纳米紫外光；所述电介质板相对的两个内表面上均设有钢化层；两片电介质板的边缘之间通过围坝密封连接以形成用于容纳放电气体的腔体，所述围坝的侧壁上开有通气口；至少一片电介质板的外表面设有网状电极以用于射出222纳米紫外光，用于透光的电介质板的外表面镀有光学过滤膜以用于过滤非222纳米波长的光。

2.根据权利要求1所述的一种222纳米准分子灯板，其特征在于，其中一片介质板的外表面设有板状电极，所述板状电极不透光且能够反射222纳米紫外光。

3.根据权利要求2所述的一种222纳米准分子灯板，其特征在于，所述板状电极的平面尺寸小于所述电介质板的平面尺寸且所述板状电极与所述介质板的交界处覆盖有密封层。

4.根据权利要求2所述的一种222纳米准分子灯板，其特征在于，所述板状电极上设有用于连接电源的电源接口。

5.根据权利要求1所述的一种222纳米准分子灯板，其特征在于，所述网状电极的平面尺寸小于所述电介质板的平面尺寸。

6.根据权利要求1所述的一种222纳米准分子灯板，其特征在于，所述网状电极上设有用于连接电源的电源接口。

7.根据权利要求1所述的一种222纳米准分子灯板，其特征在于，所述电介质板采用石英板，所述围坝采用可伐合金围坝，其中一片石英板的外表面设有真空蒸镀的网状金属电极，且网状金属电极的平面尺寸小于石英板的平面尺寸，另一片石英板的表面覆盖有平面尺寸小于石英板平面尺寸的铝箔，且铝箔边缘和石英板结合处设有密封硅胶。

8.权利要求1-7任意一项所述222纳米准分子灯板的制作方法，包括：

将电介质板相对一侧的内表面进行钢化处理；

通过围坝将两片电介质板的边缘密封连接形成用于容纳放电气体的腔体，并在围坝的侧壁上开设通气口；

在用于透光的电介质板的外表面镀光学过滤膜并制作网状电极。

9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，还包括在其中一片电介质板的外表面制作板状电极并在板状电极与电介质板的交界处覆盖密封材料。

10.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述电介质板采用石英板，所述围坝采用可伐合金围坝，所述可伐合金围坝和石英板的密封采用水蒸气或氮气和水蒸气的混合气体中预氧化可伐合金，再熔封石英和可伐合金表面的氧化层；或者在石英表面采用真空蒸镀或银浆烧结方法镀金属焊接层，再采用银-铜共晶焊料在气氛炉中钎焊。