[发明专利]一种双折射激光晶体偏振轴向的判断装置及方法在审
申请号: | 202211646564.3 | 申请日: | 2022-12-21 |
公开(公告)号: | CN115931313A | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 周密;亓岩;颜博霞;王延伟;韩哲;王宇;范元媛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01N21/64 |
代理公司: | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人: | 谷波 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双折射 激光 晶体 偏振 轴向 判断 装置 方法 | ||
1.一种双折射激光晶体偏振轴向的判断装置,其特征在于,包括:
沿光路依次设置的泵浦部件、泵浦光偏振部件、激光晶体载体、荧光偏振部件、荧光整形部件、荧光检测部件及显示判断部件;其中,
所述激光晶体载体,用于承载待检测的双折射激光晶体,所述双折射激光晶体可旋转;
所述泵浦部件,用于为待检测的双折射激光晶体提供泵浦光;
所述泵浦光偏振部件,用于将所述泵浦部件提供的泵浦光调整为偏振泵浦光,所述偏振泵浦光为目标偏振方向的线偏振光;所述双折射激光晶体在所述偏振泵浦光的作用下产生荧光;
所述荧光偏振部件,用于通过目标偏振方向的荧光;
所述荧光处理部件,用于将荧光处理成预设尺寸和光强的光束,以成像在所述荧光检测部件上;
所述荧光检测部件,用于通过光电转换将检测到的荧光转换为荧光信息;
所述显示判断部件,用于显示所述荧光信息,并根据所述荧光信息判断双折射激光晶体的偏振方向。
2.根据权利要求1所述的双折射激光晶体偏振轴向的判断装置,其特征在于,所述泵浦部件包括泵浦源及第一光束整形单元;
所述泵浦源,用于采用端面泵浦方式对双折射激光晶体提供泵浦光;
所述第一光束整形单元,用于将泵浦光会聚成预设尺寸以增大泵浦光的强度,整形后的泵浦光的焦点位于双折射激光晶体内部。
3.根据权利要求2所述的双折射激光晶体偏振轴向的判断装置,其特征在于,所述泵浦源采用半导体激光二极管泵浦源。
4.根据权利要求1所述的双折射激光晶体偏振轴向的判断装置,其特征在于,所述泵浦光偏振部件为偏振分光棱镜、偏振片或布儒斯特角放置的镜片。
5.根据权利要求1所述的双折射激光晶体偏振轴向的判断装置,其特征在于,所述激光晶体载体包括散热部件,用于对双折射激光晶体进行散热。
6.根据权利要求1所述的双折射激光晶体偏振轴向的判断装置,其特征在于,所述荧光偏振部件为偏振分光棱镜、偏振片或布儒斯特角放置的镜片。
7.根据权利要求1所述的双折射激光晶体偏振轴向的判断装置,其特征在于,所述荧光处理部件包括第二光束整形单元和衰减单元;
所述第二光束整形单元,用于将荧光处理成预设尺寸的光束;
所述衰减单元,用于将荧光衰减为小于预设光强的光束。
8.根据权利要求7所述的双折射激光晶体偏振轴向的判断装置,其特征在于,所述第二光束整形单元采用球面镜或非球面镜。
9.根据权利要求1所述的双折射激光晶体偏振轴向的判断装置,其特征在于,所述荧光检测部件为CCD相机。
10.一种双折射激光晶体偏振轴向的判断方法,基于权利要求1至9任一项所述的双折射激光晶体偏振轴向的判断装置,其特征在于,所述方法包括:
泵浦部件为待检测的双折射激光晶体提供泵浦光;
泵浦光偏振部件将所述泵浦部件提供的泵浦光调整为偏振泵浦光,所述偏振泵浦光为目标偏振方向的线偏振光;所述双折射激光晶体在所述偏振泵浦光的作用下产生荧光;
荧光偏振部件通过目标偏振方向的荧光;
荧光处理部件将荧光处理成预设尺寸和光强的光束,以成像在荧光检测部件上;
荧光检测部件通过光电转换将检测到的荧光转换为荧光信息;
显示判断部件显示所述荧光信息,并根据所述荧光信息判断双折射激光晶体的偏振方向。
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