[发明专利]一种探针卡

说明书

本发明涉及一种探针卡，包括:固定壳；若干探针，探针插入所述固定壳，探针包括可拆卸连接的第一段和第二段；固定板，所述固定板位于所述固定壳外靠近所述第一段的一端，第一段的一端进入固定壳与第二段接触，另一端穿出固定板。本发明提供了一种可更换针尖的探针卡，装配简单便捷、简化探针装配流程，降低维护成本，增加探针的使用寿命。

技术领域

本发明涉及芯片封装测试中所用探针卡技术领域，具体涉及一种可更换针尖的探针卡。

背景技术

随着半导体技术的快速更新，晶圆生产朝着微间距、高密度方向发展，为了提高封装成型后芯片的良品率，在封装之前对晶圆进行测试则显得尤为重要。而探针作为晶圆测试中的重要工具，起到电气连接与信号传递的作用。

垂直探针的应用解决了高密度平行测量的问题，但生产装配过程较复杂，尤其整针装配时需要将探针穿过多重固定板，此过程需要花费大量时间，增加了生产成本，并且随着测试循环的增加，针尖会有一定程度的磨损，且磨损后的探针不可重复利用。

发明内容

本发明克服了现有技术的不足，提供一种可更换针尖的探针卡，装配简单便捷、简化探针装配流程，降低维护成本，增加探针的使用寿命。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案为：一种探针卡，包括:固定壳；若干探针，探针插入固定壳，探针包括可拆卸连接的第一段和第二段；固定板，固定板位于固定壳外靠近第二段的一端，第一段的一端进入固定壳与第二段接触，另一端穿出固定板。

本发明一个较佳实施例中，固定壳的靠近固定板的第一端设有若干第一定位槽，第一段与第二段在第一定位槽中接触。

本发明一个较佳实施例中，固定壳相对第一端的第二端设有若干第二定位槽，第二定位槽中插有第二段。

本发明一个较佳实施例中，第二段的一端与第一段接触，另一端露出固定壳外，并且露出部分的最大宽度大于第二定位槽的宽度。

本发明一个较佳实施例中，固定壳包括能相对开合的前固定板和后固定板，前固定板和后固定板相向设置的对合侧中至少一侧设置有周边凸台，前固定板和后固定板之间的周边凸台内形成容纳探针的型腔。

本发明一个较佳实施例中，第一段和第二段接触的部分为相互对接吻合的楔形结构。

本发明一个较佳实施例中，固定板上开设有第三定位槽，第三定位槽的宽度小于第一段与第二段接触一端的最大宽度。

本发明一个较佳实施例中，第一定位槽与第三定位槽连通。

本发明一个较佳实施例中，固定板与固定壳通过组装部连接。

本发明一个较佳实施例中，第二段为中间窄两端宽的曲直向前结构。

本发明解决了背景技术中存在的缺陷，本发明的有益效果：

本发明提供一种探针卡，提出了一种带有固定板且探针针尖可更换的探针卡结构。探针卡的固定壳分成前固定板、后固定板以及固定板，将探针分成带有针尖的第一段以及带有针尾的第二段，第一段插入固定板中，第二段首先与前固定板、后固定板装配成一体式结构，再与插设有第一段的固定板进行装配成完整的探针卡。在探针卡的使用过程中，当探针磨损严重，不能满足测试要求时，只需将装有针尖的固定板拆下来进行更换，有效的提高了整个探针寿命。

将固定板做成前后拼接的形式，方便了探针的装配。带有针尖的第一段以及带有针尾的第二段在配合处做成楔形，既为装配提供一定的导向作用，又保证了针尖与针尾之间力的传递，而且对测试过程中针尖的偏移有矫正作用。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明优选实施例中探针卡拆分时的结构示意图；

图2是本发明优选实施例中探针卡拆除前固定板的结构示意图；