[发明专利]加热炉

权利要求书

1.一种加热炉，其特征在于，具备：

主体部，其具有用于进行被处理物的热处理的热处理空间，具备配置在所述热处理空间内的加热部；

气体供给部，其将为了进行热处理所需的气体供给到所述主体部的所述热处理空间；

吸引喷出部，其具有与所述主体部连接的气体管路，反复进行从所述热处理空间向所述气体管路的气体的吸引和被吸引到所述气体管路的气体向所述热处理空间的喷出；和

蓄热体，其配置在所述气体管路的内部，能够进行热交换，

所述气体管路配置为，在经由所述气体管路的气体的吸引以及喷出时，沿着从所述气体管路向所述热处理空间喷出的气体的行进方向的单位向量和沿着从所述热处理空间向所述气体管路吸引的气体的行进方向的单位向量的内积成为0以下。

2.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，

所述蓄热体设置在所述气体管路的内部之中位于所述主体部的内部的部分。

3.根据权利要求2所述的加热炉，其特征在于，

所述蓄热体设置在所述气体管路的内部之中贯通了所述主体部的区域。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的加热炉，其特征在于，

所述蓄热体的一部分在所述主体部的所述热处理空间内露出。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的加热炉，其特征在于，

所述气体管路配置为，相对于所述被处理物载置在所述热处理空间内的载置面，向载置所述被处理物的一侧延伸的单位法线向量和沿着从所述气体管路向所述热处理空间喷出的气体的行进方向的单位向量的内积成为负。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的加热炉，其特征在于，

以与延伸方向正交的面切断所述气体管路时的截面面积之中，所述热处理空间侧的前端的截面面积比配置有所述蓄热体的区域的平均截面面积小。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的加热炉，其特征在于，

在所述气体管路中，包含从位于一端的第1吸引喷出口朝向所述主体部的外侧延伸的第1延伸部和从位于另一端的第2吸引喷出口朝向所述主体部的外侧延伸的第2延伸部，

所述吸引喷出部具备配置于所述第1延伸部的第1风扇和配置于所述第2延伸部的第2风扇。

8.根据权利要求7所述的加热炉，其特征在于，

所述吸引喷出部还具备：第3风扇，其配置于所述第1延伸部，用于使气体与由所述第1风扇的驱动产生的气体流反向地流动；和第4风扇，其配置于所述第2延伸部，用于使气体与由所述第2风扇的驱动产生的气体流反向地流动。

9.根据权利要求8所述的加热炉，其特征在于，

所述第1风扇以及所述第3风扇配置为由一个风扇的驱动产生的气体朝向另一个风扇，

所述第2风扇以及所述第4风扇配置为由一个风扇的驱动产生的气体朝向另一个风扇。

10.根据权利要求7～9中任一项所述的加热炉，其特征在于，

所述加热炉还具备：冷却器，其配置于所述气体管路，用于冷却从所述热处理空间吸引并通过了所述蓄热体的气体，

在所述蓄热体中，包含配置于所述第1延伸部的第1蓄热体和配置于所述第2延伸部的第2蓄热体，

在所述冷却器中，包含配置于所述第1蓄热体与所述第1风扇之间的第1冷却器和配置于所述第2蓄热体与所述第2风扇之间的第2冷却器。

11.根据权利要求10所述的加热炉，其特征在于，

所述冷却器是交替地层叠了流动气体的气体流路和流动冷媒的冷媒流路的热交换器。