[发明专利]一种管道异物清理装置、管道系统及管道异物清理方法

权利要求书

1.一种管道异物清理装置，其特征在于，包括：

清理装置(4)，其用于设在与管道(2)连接的过渡支路(1)内；

抽真空机构(6)，其用于与所述过渡支路(1)连接；

控制模块(5)，其用于在管道(2)内流量不满足设定时，在当前沉积工序结束后，控制所述抽真空机构(6)对所述过渡支路(1)抽真空后，开启所述管道(2)与过渡支路(1)之间的控制阀(3)，使所述清理装置(4)在所述管道(2)内移动并对管道(2)进行清理。

2.根据权利要求1所述的管道异物清理装置，其特征在于：还包括异物清理组件(8)，其用于对所述过渡支路(1)内的异物进行清理。

3.根据权利要求2所述的管道异物清理装置，其特征在于，所述异物清理组件(8)包括：

进气管(81)，其用于与所述过渡支路(1)连接，且其上设有第一阀门；

排气管(82)，其用于与所述过渡支路(1)连接，且其上设有第二阀门；

过滤组件(83)，其连接于所述排气管(82)，用于过滤所述排气管(82)排出的混合气体。

4.根据权利要求1所述的管道异物清理装置，其特征在于：还包括驱动机构(7)，其设于所述管道(2)外，用于驱动所述清理装置(4)在所述管道(2)内移动。

5.一种管道系统，其特征在于，包括：

管道(2)；

过渡支路(1)，其连接于所述管道(2)；

控制阀(3)，其设于所述过渡支路(1)和所述管道(2)之间；

清理装置(4)，其设于所述过渡支路(1)内；

抽真空机构(6)，其与所述过渡支路(1)连接；

控制模块(5)，其用于在管道(2)内流量不满足设定时，在当前沉积工序结束后，控制所述抽真空机构(6)对所述过渡支路(1)抽真空后，开启所述控制阀(3)，使所述清理装置(4)在所述管道(2)内移动并对管道(2)进行清理。

6.根据权利要求5所述的管道系统，其特征在于，还包括：

进气管(81)，其连接于所述过渡支路(1)，且其上设有第一阀门；

排气管(82)，其连接于所述过渡支路(1)，且其上设有第二阀门；

过滤组件(83)，其连接于所述排气管(82)，用于过滤所述排气管(82)排出的混合气体。

7.一种管道异物清理方法，其特征在于，包括：

在管道(2)内流量不满足设定时，在当前沉积工序结束后，对与管道(2)连接的过渡支路(1)抽真空后，开启所述管道(2)与所述过渡支路(1)之间的控制阀(3)，使位于所述过渡支路(1)中的清理装置(4)进入管道(2)内，使所述清理装置(4)在所述管道(2)内移动并对管道(2)进行清理。

8.根据权利要求7所述的管道异物清理方法，其特征在于：在当前沉积结束后，使所述管道(2)内流量为零状态保持设定时间后，再开启所述控制阀(3)。

9.根据权利要求7所述的管道异物清理方法，其特征在于：所述清理装置(4)进入所述管道(2)内后，关闭所述控制阀(3)。

10.根据权利要求7所述的管道异物清理方法，其特征在于：在所述管道(2)清理完成后，所述清理装置(4)回到所述过渡支路(1)内后，关闭所述控制阀(3)，通过与所述过渡支路(1)连接的进气管(81)向过渡支路(1)内通气，并通过与所述过渡支路(1)连接的排气管(82)将过渡支路(1)内的混合气体排出。