[发明专利]一种并行反馈空气净化系统及方法

说明书

本发明公开了一种并行反馈空气净化系统及方法，涉及空气净化领域，包括如下步骤：将外部空气通过粗过滤器以及主路精过滤器进行过滤，引入部分过滤后的新风通过旁路精过滤器再次过滤并重新输送至主路精过滤器循环过滤；监测并确定车间空气洁净度；若车间空气洁净度满足要求，判断主路精过滤器净化后的空气是否满足要求的空气洁净度；若主路精过滤器净化后的空气刚好满足生产标准，则变频控制仪输出频率保持不变，若生产车间空气洁净度有不合规风险，提高输出频率，提高空气回流比，保证生产车间空气质量；若主路精过滤器净化后的空气不仅满足生产标准，且有进一步提高的趋势，则降低输出频率，在满足生产要求的前提下，节约运营成本。

技术领域

本发明涉及空气净化技术领域，更具体地说，本发明涉及一种并行反馈空气净化系统及方法。

背景技术

在高端芯片制造的全部工艺流程中有许多制约最终成品率的关键点，而厂房的空气质量无疑是其中最基础也是最重要的关键点之一。随着芯片工艺进步，芯片的线宽逐渐减小，对于能够造成掩模板成像失效和能够造成线间短路的灰尘尺寸和数目去除要求不断增加，传统的多级过滤增加级数的办法不但会大大增加成本，而且也会大大降低可靠性。

因此，本发明提出了一种一种并行反馈空气净化系统及方法来解决上述问题。

发明内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本发明的实施例提供一种并行反馈空气净化系统及方法，通过将主路精过滤器出风口的一部分净化空气按照需要的比例通过变频调速电机鼓风装置经过旁路净化通道的旁路精过滤器净化，再送回主路净化通道主路精过滤器的进风口，形成多次循环，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

提供了一种并行反馈空气净化系统，包括沿主路净化通道方向设置的主路精过滤器，形成空气流动净化的主路净化装置，其特征在于，还包括：旁路净化装置，所述旁路净化装置与主通道相连，用于将至少部分经过主路精过滤器净化的空气再次净化之后，引入主路精过滤器的进风口进行重复过滤净化。

在一个优选的实施方式中，所述旁路净化装置包括旁路净化通道和旁路精过滤器。

在一个优选的实施方式中，所述并行反馈空气净化系统还包括鼓风机，设置于主路净化通道和旁路净化通道的任意位置。

在一个优选的实施方式中，所述鼓风机设置于旁路净化通道的进风口。

在一个优选的实施方式中，所述并行反馈空气净化系统的出风口与生产车间相连，将已净化的空气输送至生产车间。

在一个优选的实施方式中，所述并行反馈空气净化系统还包括调节机构，所述调节机构包括变频电机、变频控制仪及新风空气质量传感器；所述变频电机与鼓风机连接，所述变频控制仪与变频电机连接，所述变频控制仪通过变频电机控制鼓风机产生的风力大小，进而控制主路精过滤器出风口处进入旁路净化通道内的新风量；所述新风空气质量传感器与变频控制仪连接，用于监测主路精过滤器出风口处的新风质量。

在一个优选的实施方式中，所述并行反馈空气净化系统还包括车间空气质量传感器，所述车间空气质量传感器与变频控制仪连接，其设置在生产车间内部，用于监测车间内部的平均空气质量是否符合生产标准。

本发明还提供了一种并行反馈空气净化方法，包括：

步骤S1：将经过并行反馈空气净化系统的净化空气引入生产车间，所述净化空气包括至少部分经过主路净化装置净化后引入旁路净化装置净化，再经过主路净化装置净化的空气。

在一个优选的实施方式中，所述方法还包括：

步骤S2：监测生产车间的空气质量，判断生产车间的空气是否满足生产标准；

步骤S3：若生产车间的空气质量满足生产标准，监测主路精过滤器出风口处的空气质量，判断经过并行反馈空气净化系统净化后的空气是否满足生产标准；