[发明专利]一种电子级三氟甲烷的废气回收再利用装置

说明书

本发明公开了一种电子级三氟甲烷的废气回收再利用装置，包括回收舱，所述回收舱整体为奥氏体不锈钢材质，且回收舱的外表面涂设有隔热层，所述回收舱的上方安装有密封盖，利用气泵将三氟甲烷生产过程中产生的酸性废气送入到输气管的内部，并顺着输气管经过导气环最终从出气阀口处送出，再基于酸碱中和反应原理，中和酸性气体，从而相对于直接收集气体需要保证其严格的密封性以及加压收集的方式，本装置的方式间接地利用碱性溶液与酸性气体的中和反应原理，间接地实现对废气的收集处理，同时操作过程快速便捷，并且能够第一时间内进行酸碱中和反应，从而有效地降低酸性气体的危害，进而保证了三氟甲烷生产环节中废气收集处理的安全性。

技术领域

本发明涉及三氟甲烷生产技术领域，具体是涉及一种电子级三氟甲烷的废气回收再利用装置。

背景技术

目前中国发明专利“CN112573994B”中公布了一种三氟甲烷的制备方法，其提出了一种现有的三氟甲烷的制备方法：“该方法是将三氟化锑或氟化氢与三氯甲烷反应，再根据CHF₃和氯化氢在不同溶剂中的溶解度不同的特性，利用溶剂吸收法进行CHF₃和氯化氢的分离，但是该反应中存在催化剂有毒会污染环境，且反应过程中的温度较高，并且最终的含氯副产物较多的问题”，此外，根据现有名称为：“浅述高纯三氟甲烷的生产及应用”的文献中，其提出鉴于三氟甲烷生产过程的特点，在其制备的过程中会产生一些酸性气体，具体为氟化氢HF、氯化氢HCI等；由上述可知，如何对三氟甲烷生产过程中产生的酸性废气进行合理的回收以及后续地再利用是一个值得解决的问题，而三氟甲烷制备过程中产生的酸性气体不仅对人体有害，同时排入大气后也会严重污染大气环境，而现有的对于该类废气的回收设备大多都是利用罐体进行收集加压的方式，该过程较为繁琐，且存在一定的安全隐患，并且在回收废气后不便于进行运送，由此可见，现有的废气收集装置的使用便捷度较差；基于此，本发明提供一种电子级三氟甲烷的废气回收再利用装置，以弥补现有技术的不足之处。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供了一种电子级三氟甲烷的废气回收再利用装置，以解决上述背景技术中提出的相应技术问题。

为达到以上目的，本发明采用的技术方案为：一种电子级三氟甲烷的废气回收再利用装置，包括回收舱，所述回收舱整体为奥氏体不锈钢材质，其能够充分提供于回收舱使用的安全性，同时减少回收舱出现生锈的情况，提升回收舱的使用寿命，且回收舱的外表面涂设有隔热层，以保证回收舱使用的安全性，所述回收舱的上方安装有密封盖，其用于保证回收舱使用时的密封性，减少气体外泄，且所述密封盖的上方设置有密封组件，所述密封盖的表面安装有压力表，其用于工作人员直观地观察到回收舱内部的气压情况，且所述密封盖的左侧方设置有泄压排气机构，所述回收舱的左右两侧外壁均固定连接有扶把，所述回收舱的底部均匀安装有自锁轮，其通过与回收舱底部安装的自锁轮配合使用，以便于工作人员移动回收舱，从而提升装置的便捷度，所述回收舱的右侧方上部和下部分别安装有注液管和排液管，且二者的内部均安装有阀门，其中注液管用于往回收舱内部导入碱性溶液，而排液管用于排出回收舱内部的液体，所述回收舱的下方设置有导气净化机构，所述回收舱的内部设置有中心搅拌机构；所述导气净化机构包括：气泵、过渡管、控制器、输气管、导气环、出气阀口，所述回收舱下方的左侧方外壁固定安装有气泵，且所述气泵的左侧方安装有过渡管，所述气泵的上表面安装有控制器，所述控制器与气泵呈电性连接，所述气泵的右侧方安装有输气管，且所述输气管的下端连通有导气环，并且所述导气环的上方均匀安装有出气阀口。

优选的，所述导气环呈环形腔体结构，所述出气阀口的数量不少于十五组，以保证呈酸性的废气均匀地导入回收舱内部的碱性溶液中。

优选的，所述泄压排气机构包括：排气管、压力阀、吸附舱、舱盖，所述密封盖的上表面安装有排气管，且所述排气管与回收舱的内腔相互连通，所述排气管的内部安装有压力阀，所述排气管的上端连通有吸附舱，且所述吸附舱的上方安装有舱盖。

优选的，所述吸附舱为腔体结构，且所述吸附舱的内部放置有活性炭颗粒。