[发明专利]一种加热带及其温度控制系统

说明书

本发明公开了一种加热带及其温度控制系统，包括真空泵站，所述真空泵站连接第一波纹管，第一波纹管连接直管和弯管，相邻所述直管和所述弯管之间通过管法兰连接，加热带末端的所述直管或所述弯管通过变径接头连接第二波纹管，管和弯管通过P型夹起到支撑作用，所述P型夹固定连接承重角铁，控制段接上控制器，再接上电源，就可以进行加热了，通过调节控制器上的温度，选择需要的加热的温度，通过向管路均匀加热，维持管道温度防止制成产物堆积堵塞现象发生，当气体管路中的温度维持于一定范围内时，制成所产生的生成物将不易沉积或堵塞于管路中，因而可以减少机台的保养次数，同时可以延长相关设备的寿命。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种加热带及其温度控制系统。

背景技术

在半导体集成电路制造中，有许多加工工序在高温的真空室内进行，在这种环境下，产生的副产物升华成气象，经真空管路排放。如果在排放的过程中，温度下降过快，则会导致气体沉聚在管路及各种阀门上，如不及时清除沉积物，会增加镜片质量缺陷，降低真空系统效率。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种加热带，包括真空泵站，所述真空泵站连接第一波纹管，第一波纹管连接直管和弯管，相邻所述直管和所述弯管之间通过管法兰连接，加热带末端的所述直管或所述弯管通过变径接头连接第二波纹管。

优选的：所述直管和弯管通过P型夹起到支撑作用，所述P型夹固定连接承重角铁。

优选的：所述直管包括外层，外层两侧边缘处设置有魔术贴，外层通过魔术贴粘接在一起形成中空的筒状结构，外层内侧设置有保温层，保温层内侧设置有内层，内层与保温层之间设置有加热线，加热线电性连接热电偶和温度开关，加热线连接热保险丝，直管上设置有电缆接口，电缆接口电性连接加热线。

优选的：所述热保险丝为突跳式温控开关限温器。

优选的：所述直管上设置有电缆接口，电缆接口电性连接加热线。

优选的：所述外层和内层由硅涂层纤维布、特氟龙布、聚四氟乙烯和高硅氧布组成。

优选的：所述保温层由高硅氧针刺垫制成。

优选的：所述魔术贴为阻燃魔术贴，采用PPS或PET材料制成。

一种加热带的控制系统，包括数据采集单元、控制单元、存储单元和报警单元；

所述采集单元用于采集温度数据，实时采集每个温控器的设定参数和实际运行参数，将采集的温度数据传输至控制单元；

所述控制单元包括触摸屏，触摸屏用于设置参数；

所述存储单元用于存储历史温度数据和事件报警数据；

所述报警单元用于实时报警。

优选的：所述控制单元可单个设定或一键设定温控器参数，实时采集每个温控器的设定参数和实际运行参数，存储历史温度数据，并且每个控制箱为每一条泵管或管路加热带提供独立的漏电保护装置。

本发明的技术效果和优点：

1、本发明中，将绝缘性能达到标准的电热元件织入或缝入加热带内，通电后元件发热，提升管道的温度从而达到加热及保温的作用，将加热带包裹在管道上，用连接线进行连接，控制段接上控制器，再接上电源，就可以进行加热了，通过调节控制器上的温度，选择需要的加热的温度，通过向管路均匀加热，维持管道温度防止制程产物堆积堵塞现象发生。

2、本发明中，制程所产生的生成物将不易沉积或堵塞于管路中，因而可以减少机台的保养次数，同时可以延长相关设备的寿命。

附图说明

图1是本申请实施例提供的加热带安装的结构示意图；