[发明专利]基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质在审

专利信息
申请号: 202211708137.3 申请日: 2022-12-29
公开(公告)号: CN115935126A 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 宁坤奇;钟晓兰 申请(专利权)人: 上海集成电路研发中心有限公司
主分类号: G06F17/15 分类号: G06F17/15;G01J5/20
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 刘阳;黄健
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 基于 热敏电阻 工艺 参数 确定 方法 装置 设备 介质
【说明书】:

本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质。该方法包括:确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息;其中,所述工艺参数用于表示生产所述热敏电阻时,制备工艺的参数,所述性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数,所述相关性信息用于表示工艺参数与性能参数之间的大小关系;根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息,以及预设的性能参数之间的参数值条件,确定所述工艺参数的目标值;其中,所述目标值用于表示在所述工艺参数取所述目标值时,所述性能参数满足所述参数值条件;将所述工艺参数与所述目标值进行关联存储。本申请的方法,提高了工艺参数的确定精度。

技术领域

本申请涉及计算机技术,尤其涉及一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质。

背景技术

热敏电阻是一种传感器电阻,其电阻值可以随着温度的变化而改变。热敏电阻可以应用在多种技术领域,例如,在红外探测技术中,热敏性红外探测器是重要工具。

在生产热敏电阻时涉及多种制备的工艺参数,例如,工艺参数可以包括温度、掺杂量、退火时间、沉积温度、气体稀释程度等。工艺参数的不同取值会影响热敏电阻的性能,如何准确确定工艺参数的最优值,从而使热敏电阻性能满足使用要求成为亟待解决的问题。

发明内容

本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法、装置、设备及介质,用以提高工艺参数的确定精度。

第一方面,本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定方法,包括:

确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息;其中,所述工艺参数用于表示生产所述热敏电阻时,制备工艺的参数,所述性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数,所述相关性信息用于表示工艺参数与性能参数之间的大小关系;

根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息,以及预设的性能参数之间的参数值条件,确定所述工艺参数的目标值;其中,所述目标值用于表示在所述工艺参数取所述目标值时,所述性能参数满足所述参数值条件;

将所述工艺参数与所述目标值进行关联存储。

第二方面,本申请提供一种基于热敏电阻的工艺参数确定装置,包括:

信息确定模块,用于确定热敏电阻的工艺参数与预设的性能参数之间的相关性信息;其中,所述工艺参数用于表示生产所述热敏电阻时,制备工艺的参数,所述性能参数包括热敏电阻的电阻率、电阻温度系数和噪声参数,所述相关性信息用于表示工艺参数与性能参数之间的大小关系;

目标值确定模块,用于根据所述工艺参数与各性能参数之间的相关性信息,以及预设的性能参数之间的参数值条件,确定所述工艺参数的目标值;其中,所述目标值用于表示在所述工艺参数取所述目标值时,所述性能参数满足所述参数值条件;

存储模块,用于将所述工艺参数与所述目标值进行关联存储。

第三方面,本申请提供一种电子设备,包括:处理器,以及与所述处理器通信连接的存储器;

所述存储器存储计算机执行指令;

所述处理器执行所述存储器存储的计算机执行指令,以实现如本申请第一方面所述的基于热敏电阻的工艺参数确定方法。

第四方面,本申请提供一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质中存储有计算机执行指令,所述计算机执行指令被处理器执行时用于实现如本申请第一方面所述的基于热敏电阻的工艺参数确定方法。

第五方面,本申请提供一种计算机程序产品,包括计算机程序,该计算机程序被处理器执行时实现如本申请第一方面所述的基于热敏电阻的工艺参数确定方法。

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