[发明专利]显示背板及其制作方法、显示面板

权利要求书

1.一种显示背板，其特征在于，所述显示背板包括：

衬底；

第一金属层，设置于所述衬底上；

层间介质层，设于所述第一金属层远离所述衬底的一侧且覆盖所述第一金属层；

第二金属层，设置于所述层间介质层远离所述衬底的一侧；以及

平坦层，设于所述第二金属层远离所述衬底的一侧且覆盖所述第二金属层和所述层间介质层；

其中，所述显示背板还包括减反层，所述减反层包括第一减反层和第二减反层，所述第一减反层位于所述第一金属层朝向出光的一侧，所述第二减反层设置于所述第二金属层朝向出光的一侧。

2.根据权利要求1所述的显示背板，其特征在于，所述第一减反层设置于所述第一金属层远离所述衬底的一侧，所述第二减反层设置于所述第二金属层远离所述衬底的一侧。

3.根据权利要求2所述的显示背板，所述显示背板还包括：

遮光层，设置于所述衬底上；

缓冲层，覆于所述遮光层和所述衬底上；

有源层，设置于所述缓冲层上；

栅极，设置于所述有源层背向所述衬底的一侧；

栅极绝缘层，设于所述有源层和所述栅极之间；以及

源极和漏极，设置于所述层间介质层上，所述源极和所述漏极分别通过第一过孔和第二过孔连接至所述有源层，所述源极通过第三过孔连接至所述遮光层；

其中，所述减反层还包括第三减反层，所述第三减反层设置于所述遮光层背向所述衬底的一侧且位于所述缓冲层和所述遮光层之间；所述第一金属层包括所述栅极，所述第二金属层包括所述源极和所述漏极；所述层间介质层设于所述缓冲层、所述有源层和所述第一减反层上。

4.根据权利要求3所述的显示背板，其特征在于，所述第二金属层还包括焊垫区，位于所述焊垫区的部分所述第二金属层在所述衬底上的投影和所述第二减反层在所述衬底上的投影不重合。

5.根据权利要求3所述的显示背板，其特征在于，所述第一减反层在所述衬底上的投影覆盖所述第一金属层在所述衬底上的投影。

6.根据权利要求1-5中任意一项所述的显示背板，其特征在于，所述减反层的材料为MoaXbOcNd，其中，X为钽、钕、锰、铜、铁、钒、钴、镍、铌、锆、钨、钛、錸、鉿中的至少一种金属元素，a、b、c和d均为大于或等于0的有理数。

7.根据权利要求6所述的显示背板，其特征在于，若d＝0，则c/a的范围为1.5～3.0，X的质量百分比的范围为5％～15％；若c＝0，则d/a的范围为2.0～3.0，X的质量百分比的范围为5％～15％；若c≠0，且d≠0，则c/a的范围为0～2.5，d/a范围为0～2.5，X的质量百分比的范围为5％～15％。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的显示背板，其特征在于，所述显示背板还包括防护层，所述防护层设于所述衬底朝向所述第一金属层的一侧，所述防护层的材料为黑色光阻材料。

9.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括如权利要求1-8中任意一项所述的显示背板。

10.一种显示背板的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供衬底，在所述衬底上形成第一金属层；

在所述第一金属层上形成第一减反层；

图案化所述第一金属层和所述第一减反层；

在所述衬底和第一减反层上形成层间介质层；

在所述层间介质层上形成第二金属层；

在所述第二金属层上形成第二减反层；

图案化所述第二金属层和所述第二减反层；以及

在所述第二减反层和所述层间介质层上形成平坦层。