[发明专利]一种基于飞秒激光双光子聚合的3D微纳打印系统

权利要求书

1.一种基于飞秒激光双光子聚合的3D微纳打印系统，其特征在于，包括光学平台及设置于所述光学平台上的激光模块、压电平台、精密三维平台和控制模块；

所述激光模块用于产生飞秒激光，所述飞秒激光聚焦于3D打印材料上；

所述压电平台设置于所述精密三维平台上，用于承载所述3D打印材料及带动所述3D打印材料在第一行程内进行三维移动；

所述精密三维平台用于带动所述压电平台在第二行程内进行三维移动，且所述第二行程大于所述第一行程；

所述控制模块分别与所述压电平台和所述精密三维平台连接，用于根据待打印的3D模型控制所述精密三维平台和所述压电平台进行三维移动，使所述3D打印材料位于所述3D模型的待打印位置。

2.根据权利要求1所述的基于飞秒激光双光子聚合的3D微纳打印系统，其特征在于，还包括监测模块和软件模块；

所述监测模块设置于光学平台上，所述监测模块向所述3D打印材料上照射可见光，所述可见光经过所述3D打印材料的反射，所述监测模块接收到所述可见光中的光刻信息并将所述光刻信息传输给所述软件模块。

3.根据权利要求1所述的基于飞秒激光双光子聚合的3D微纳打印系统，其特征在于，还包括设置于所述飞秒激光光路上的光路调节模块，所述光路调节模块用于将所述飞秒激光调整为预设参数的光，所述参数包括飞秒激光功率、曝光时长和激光偏振态。

4.根据权利要求3所述的基于飞秒激光双光子聚合的3D微纳打印系统，其特征在于，所述光路调节模块包括快门，所述快门用于调整激光曝光时长。

5.根据权利要求4所述的基于飞秒激光双光子聚合的3D微纳打印系统，其特征在于，所述光路调节模块还包括沿飞秒激光光路依次设置的扩束器、1/2波片和格兰激光棱镜。

6.根据权利要求4所述的基于飞秒激光双光子聚合的3D微纳打印系统，其特征在于，所述光路调节模块还包括光电二极管，所述光电二极管用于对3D打印材料处的所述飞秒激光的功率密度进行实时监测。

7.根据权利要求1所述的基于飞秒激光双光子聚合的3D微纳打印系统，其特征在于，所述第一行程为500μm，所述压电平台的移动精度为18nm；

所述第二行程为20mm，所述精密三维平台的移动精度为0.3μm。

8.根据权利要求1所述的基于飞秒激光双光子聚合的3D微纳打印系统，其特征在于，所述3D打印材料为光刻胶、陶瓷、玻璃或金属材料。