[发明专利]一种激光动态加工方法和加工设备

说明书

提供一种激光动态加工方法，电池片固定设置于一平台，以第一速度带动电池片沿第一方向移动；激光振镜加工模组设置于平台上方，朝向电池片照射激光，从一待加工线第一端沿第二方向扫描至其第二端，完成一待加工线的加工；激光沿第一方向正向或者反向跳转，至另一待加工线的第一端或者第二端，从此待加工线第一端沿第二方向扫描至其第二端，或者从此待加工线的第二端沿第三方向扫描至其第一端，完成此待加工线的加工；激光重复跳转和扫描，在振镜预设加工幅面内完成其余待加工线的加工；其中，激光的跳转距离，不超过振镜预设加工幅面。本发明激光扫描方向匹配电池片运动方向，振镜的扫描区域在宽度方向仅含中间部分，避免边缘加工畸变。

技术领域

本发明涉及一种激光动态加工方法和加工设备，属于激光加工技术领域。

背景技术

在光伏加工技术领域，激光对太阳能电池的加工得到了越来越多的应用。例如激光开槽、激光掺杂、激光印刷、激光退火、激光焊接等。目前，随着太阳能电池的进一步发展，对激光加工速度和激光加工精度提出了越来越高的要求。

激光振镜由于其加工精度和加工精度的优势，被广泛应用于光伏加工中。但是，光伏电池片的尺寸越来越大，振镜和场镜的加工幅面有限，且其加工幅面边缘部分的加工精度差，导致在加工时，加工图形宽度方向上的不均匀程度变大。典型地，210×210mm大尺寸晶硅太阳能电池钝化层的选择性烧蚀和选择性掺杂，由于振镜校正角度变大，当振镜控制光斑扫描到电池片边缘时，由于场镜存在的散射现象，会出现光斑尺寸精度下降、光斑能量密度波动等现象，而对操纵超短脉冲和高脉冲能量的激光束的方式提出了更高的工艺要求。

发明内容

本申请旨在解决现有技术存在的问题，提供一种激光动态加工方法和激光动态加工设备。

一方面，本发明提供一种激光动态加工方法，电池片固定设置于一平台，平台以第一速度带动电池片沿第一方向移动；

激光振镜加工模组设置于平台上方，朝向电池片照射激光，从一待加工线第一端沿第二方向扫描至其第二端，完成一待加工线的加工；

激光沿第一方向正向或者反向跳转，至另一待加工线的第一端或者第二端，从此待加工线第一端沿第二方向扫描至其第二端，或者从此待加工线的第二端沿第三方向扫描至其第一端，完成此待加工线的加工；

激光重复跳转和扫描，在振镜预设加工幅面内完成其余待加工线的加工；

其中，一待加工线和另一待加工线为相邻，或者不相邻的待加工线；

其中，激光的跳转距离，不超过振镜预设加工幅面。

进一步的，本发明的一种激光动态加工方法，包括，

待加工物固定设置于一平台，平台以第一速度带动待加工物沿第一方向移动；

激光振镜加工模组设置于平台上方，朝向待加工物照射激光，从第一待加工线第一端沿第二方向扫描至第一待加工线第二端，完成第一待加工线的加工；

激光沿第一方向反向跳转第一距离，并待相邻的第二待加工线移动至其下方时，从第二待加工线第二端沿第三方向扫描至第二待加工线第一端，完成第二待加工线的加工；

激光沿第一方向反向跳转第一距离，并待相邻的第三待加工线移动至其下方时，从第三待加工线第一端沿第二方向扫描至第一待加工线第二端，完成第三待加工线的加工；

重复，完成其余待加工线的加工；

或，待加工物固定设置于一平台，平台以第一速度带动待加工物沿第一方向移动；

激光振镜加工模组设置于平台上方，朝向待加工物照射激光，从第一待加工线第一端沿第二方向扫描至第一待加工线第二端，完成第一待加工线的加工；