[发明专利]一种二氧化硅活性清洗剂、制备装置及方法在审
申请号: | 202211727334.X | 申请日: | 2022-12-30 |
公开(公告)号: | CN116333825A | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 李冬明;殷金虎 | 申请(专利权)人: | 江苏晶久微电子材料有限公司 |
主分类号: | C11D1/00 | 分类号: | C11D1/00;C11D3/20;C11D3/32;C11D3/60 |
代理公司: | 南京协行知识产权代理事务所(普通合伙) 32493 | 代理人: | 郑立发 |
地址: | 213200 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 二氧化硅 活性 洗剂 制备 装置 方法 | ||
1.一种二氧化硅活性清洗剂,其特征在于:包括如下重量份的原料,
乙醇8-10份,异丙醇20-25份,n,n-二甲基乙酰胺5-10份,氟碳表面活性剂5-6份,去离子水50-70份。
2.一种二氧化硅活性清洗剂制备装置,其特征在于:包括用于存储乙醇和异丙醇的储料室,用于进行乙醇和异丙醇的相互融合的混合室,用于进行阳离子吸附的层析柱,用于进行过滤的滤芯,所述储料室与混合室的入口管路连接,所述混合室的出口与层析柱的入口管路连接,所述层析柱的出口与滤芯的入口管路连接,所述滤芯的出口与层析柱的入口管路连接。
3.根据权利要求2所述的二氧化硅活性清洗剂制备装置,其特征在于:所述储料室包括若干个相互独立的腔室,若干个所述腔室分别用于存储乙醇、异丙醇、n,n-二甲基乙酰胺、去离子水、氟碳表面活性剂,若干个所述腔室均单独通过管路与混合室连接。
4.根据权利要求3所述的二氧化硅活性清洗剂制备装置,其特征在于:所述混合室内设有搅拌装置,所述搅拌装置包括驱动电机和旋转叶片;所述驱动电机设置在混合室的上端,所述驱动电机的输出轴与旋转叶片连接,所述旋转叶片设置在混合室内部。
5.根据权利要求4所述的二氧化硅活性清洗剂制备装置,其特征在于:所述混合室内设置有侧壁上设置有液位计和温度计,所述混合室内壁设置有多圈呈螺旋排列的加热管,所述加热管内设置有电热丝。
6.根据权利要求2所述的二氧化硅活性清洗剂制备装置,其特征在于:所述层析柱内填充有阳离子吸附树脂。
7.根据权利要求2所述的二氧化硅活性清洗剂制备装置,其特征在于;所述滤芯的出口和层析柱的入口之间的管路上设置有电磁阀,所述电磁阀的出口与分装装置连接。
8.一种二氧化硅活性清洗剂制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
从腔室内按设定比例抽取乙醇和异丙醇通入混合室,得到溶液一;
在溶液一种添加n,n-二甲基乙酰胺,并启动旋转叶片搅拌25-35min,得到溶液二;
在溶液二中添加去离子水,开启加热管调节溶液温度为5-25摄氏度,得到溶液三;
在溶液三中添加氟碳表面活性剂,开启加热管调节溶液温度为5-25摄氏度,启动旋转叶片搅拌25-35min,得到溶液四;
将溶液四通入层析柱中,利用树脂吸附去除金属阳离子,得到溶液五;
将溶液五通入过滤芯过滤掉颗粒物,得到活性清洗剂;
将活性清洗剂进行分装。
9.根据权利要求8所述的二氧化硅活性清洗剂制备方法,其特征在于,在将溶液五通入过滤芯过滤掉颗粒物,得到活性清洗剂之后,将活性清洗剂进行分装之前,还包括:
对活性清洗剂进行检验,若检验合格,将活性清洗剂进行分装;若检验不合格,将活性清洗剂通入层析柱中进行再次吸附过滤。
10.根据权利要求8所述的二氧化硅活性清洗剂制备方法,其特征在于:所述溶液四在层析柱中的流速不超过1L/min,所述溶液五在滤芯中的流速不超过1L/min。
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