[发明专利]一种二氧化硅活性清洗剂、制备装置及方法在审

专利信息
申请号: 202211727334.X 申请日: 2022-12-30
公开(公告)号: CN116333825A 公开(公告)日: 2023-06-27
发明(设计)人: 李冬明;殷金虎 申请(专利权)人: 江苏晶久微电子材料有限公司
主分类号: C11D1/00 分类号: C11D1/00;C11D3/20;C11D3/32;C11D3/60
代理公司: 南京协行知识产权代理事务所(普通合伙) 32493 代理人: 郑立发
地址: 213200 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 二氧化硅 活性 洗剂 制备 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种二氧化硅活性清洗剂,其特征在于:包括如下重量份的原料,

乙醇8-10份,异丙醇20-25份,n,n-二甲基乙酰胺5-10份,氟碳表面活性剂5-6份,去离子水50-70份。

2.一种二氧化硅活性清洗剂制备装置,其特征在于:包括用于存储乙醇和异丙醇的储料室,用于进行乙醇和异丙醇的相互融合的混合室,用于进行阳离子吸附的层析柱,用于进行过滤的滤芯,所述储料室与混合室的入口管路连接,所述混合室的出口与层析柱的入口管路连接,所述层析柱的出口与滤芯的入口管路连接,所述滤芯的出口与层析柱的入口管路连接。

3.根据权利要求2所述的二氧化硅活性清洗剂制备装置,其特征在于:所述储料室包括若干个相互独立的腔室,若干个所述腔室分别用于存储乙醇、异丙醇、n,n-二甲基乙酰胺、去离子水、氟碳表面活性剂,若干个所述腔室均单独通过管路与混合室连接。

4.根据权利要求3所述的二氧化硅活性清洗剂制备装置,其特征在于:所述混合室内设有搅拌装置,所述搅拌装置包括驱动电机和旋转叶片;所述驱动电机设置在混合室的上端,所述驱动电机的输出轴与旋转叶片连接,所述旋转叶片设置在混合室内部。

5.根据权利要求4所述的二氧化硅活性清洗剂制备装置,其特征在于:所述混合室内设置有侧壁上设置有液位计和温度计,所述混合室内壁设置有多圈呈螺旋排列的加热管,所述加热管内设置有电热丝。

6.根据权利要求2所述的二氧化硅活性清洗剂制备装置,其特征在于:所述层析柱内填充有阳离子吸附树脂。

7.根据权利要求2所述的二氧化硅活性清洗剂制备装置,其特征在于;所述滤芯的出口和层析柱的入口之间的管路上设置有电磁阀,所述电磁阀的出口与分装装置连接。

8.一种二氧化硅活性清洗剂制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

从腔室内按设定比例抽取乙醇和异丙醇通入混合室,得到溶液一;

在溶液一种添加n,n-二甲基乙酰胺,并启动旋转叶片搅拌25-35min,得到溶液二;

在溶液二中添加去离子水,开启加热管调节溶液温度为5-25摄氏度,得到溶液三;

在溶液三中添加氟碳表面活性剂,开启加热管调节溶液温度为5-25摄氏度,启动旋转叶片搅拌25-35min,得到溶液四;

将溶液四通入层析柱中,利用树脂吸附去除金属阳离子,得到溶液五;

将溶液五通入过滤芯过滤掉颗粒物,得到活性清洗剂;

将活性清洗剂进行分装。

9.根据权利要求8所述的二氧化硅活性清洗剂制备方法,其特征在于,在将溶液五通入过滤芯过滤掉颗粒物,得到活性清洗剂之后,将活性清洗剂进行分装之前,还包括:

对活性清洗剂进行检验,若检验合格,将活性清洗剂进行分装;若检验不合格,将活性清洗剂通入层析柱中进行再次吸附过滤。

10.根据权利要求8所述的二氧化硅活性清洗剂制备方法,其特征在于:所述溶液四在层析柱中的流速不超过1L/min,所述溶液五在滤芯中的流速不超过1L/min。

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