[发明专利]一种圆锥形产品退火治具

说明书

本发明提供一种圆锥形产品退火治具，涉及石英产品加工领域。该圆锥形产品退火治具，包括圆锥底座，所述圆锥底座上表面活动设置有圆锥上盖，所述圆锥底座底面中心处开设有通孔，所述圆锥上盖两侧外表面分别开设有夹槽，具体包括以下制备方法，S1.材料选取，S2.材料清洁，S3.材料固定，S4.材料加工，S5.成品清洁。通过上盖形状尺寸和产品上方尺寸吻合，在退火时压住产品，使产品达到所需要求，底座的放置处尺寸与产品下方尺寸吻合，将产品放置在底座上，确定产品不会晃动，与底座贴合紧密，盖上上盖，退火时，当产品受到上盖带来的压力和温度的作用下，产品就达到所需状态，在满足产品工艺要求的前提下，降低返修率，提高生产效率，减低成本。

技术领域

本发明涉及石英产品加工领域，具体为一种圆锥形产品退火治具。

背景技术

石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业。半导体石英产品在完成加工后都需要退火去应力，由于退火炉温度较高，退火时石英产品会产生一定的变形，部分产品因其自身的特殊结构和尺寸要求高，如果没有支撑，产品的变形可能会超出公差要求，出现产品返修困难和报废现象。

现有的退火是直接将产品放置在退火炉的支撑架上进行退火，易出现产品返修率高和报废现象，同时，现有的治具在进行生产时，由于加工工程中需要对其进行夹持，易在其表面造成损伤，影响治具整体进行使用时的使用效果和精度。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种圆锥形产品退火治具，解决了现有的石英产品退火加工时产品没有制成，易发生形变，返修率和生产成本高，治具的加工精度难以保证的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种圆锥形产品退火治具，包括圆锥底座，所述圆锥底座上表面活动设置有圆锥上盖；

所述圆锥底座底面中心处开设有通孔，所述圆锥上盖两侧外表面分别开设有夹槽。

优选的，具体包括以下制备方法：

S1.材料选取

根据图纸尺寸选择两块合适大小的石英原材料，选取的石英原材料需确保表面无裂痕和污点，石英原材料内部无杂质；

S2.材料清洁

将选择好的材料放入到清洁环境中，先通过石油醚和丙酮混合液对石英原材料表面进行冲洗清洁，清洁完成后通过无纺布将材料表面擦干；

S3.治具粗加工

将两块石英原材料进行区分，一块作为底座部分的材料，一块作为上盖部分的材料，将两块材料分别通过磨床对外形四面进行初步加工，使治具整体外形见光后，进一步将治具外形四面按图要求加工至上公差；

S4.治具精加工

将粗加工完成的石英原材料底面涂布热熔后的石蜡，通过石蜡将代加工的石英原材料固定到加工中心的工作台上，以精定位分中作为加工基准，将治具外形四面去除变形，将正反面精加工到位，其他位置按图纸公差加工到位，加工完成，将工作台取下，加热使石蜡熔化，取下成品；

S5.成品清洁

将加工的成品放入到超声波清洗机中，向超声波清洗机内加入去离子水，对退火治具成品进行清洗，并通过乙醇对成品进行脱水。

优选的，所述S2中，石油醚的浓度为75％-80％。

优选的，所述S2中，丙酮的浓度为85％-90％。

优选的，所述S2中，石油醚和丙酮的体积比为8：3。