[发明专利]一种微纳结构加载的基于槽型波导的超紧凑型波导结构在审
| 申请号： | 202211729627.1 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN115963597A | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 岳文成;蔡艳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/136 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 谢文凯 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 结构 加载 基于 波导 紧凑型 | ||
【权利要求书】：
1.一种波导结构，其特征在于，所述波导结构包括衬底、埋氧层、设于埋氧层上的槽型波导、包覆层，其中槽型波导由条形波导和槽型区域组成，条形波导上设有微纳结构。
2.根据权利要求1所述波导结构，其特征在于，所述槽型波导为单个槽型波导结构或阵列排布结构。
3.根据权利要求1所述波导结构，其特征在于，所述槽型区域尺寸为纳米量级。
4.根据权利要求1所述波导结构，其特征在于，所述微纳结构为单个结构或复合结构；其中所述单个结构的横截面为椭圆形、矩形中的一种；所述复合结构的横截面为不同尺寸的矩形组成一个微纳单元结构。
5.根据权利要求1所述波导结构，其特征在于，所述条形波导上设有若干微纳结构，微纳结构排列为周期性排列或变周期排列。
6.根据权利要求1所述波导结构，其特征在于，所述微纳结构为非对称结构。
7.根据权利要求1所述波导结构，其特征在于，所述条形波导为硅波导、锗波导、氮化硅波导、碳化硅波导中的一种。
8.一种波导结构的制备方法，包括：
(1)在晶圆上通过光刻、刻蚀形成槽型波导或槽型波导阵列；
(2)通过光刻、刻蚀在条形波导上形成微纳结构；
(3)沉积二氧化硅以填充微纳结构和槽型区域，并形成包覆层。
9.一种权利要求1所述波导结构在集成光学中应用。
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