[发明专利]一种MOCVD设备及其供电方法

说明书

本发明提供了一种MOCVD设备及其供电方法，所述供电方法包括：监测主用电器件的输入电压，以获取所述主用电器件的输入电压的电压暂降信息，所述主用电器件包括用于使所述MOCVD设备中的托盘旋转的旋转电机；在所述电压暂降信息具有第一预设特征时，对所述主用电器件的输入电压进行补偿；以及在所述电压暂降信息具有第二预设特征时，使所述MOCVD设备运行预设停机程序，控制所述旋转电机停止旋转。本发明提供的MOCVD设备的供电方法，能够实时补偿工厂电压暂降，并执行相应预设停机程序，保护设备及产品的安全。

技术领域

本发明涉及MOCVD设备技术领域，特别涉及一种MOCVD设备及其供电方法。

背景技术

对于MOCVD设备而言，设备处于高温高速旋转工艺状态时，供电电压暂降会引起产品报废及设备毁坏，造成重大损失。

现有技术使用宽范围工作电压的元器件，以降低电压暂降、谐波、电压波动等电能质量事故的影响，但各元器件之间的规格不一致，因此效果甚微。

现有技术采用不间断电源UPS进行保护，但面积大，费用高，且需要定期更换电池，不利于长期稳定运行，例如CN202840487U公布的技术方案。

而且现在半导体制程对设备制造商提出了更高的要求，例如SEMI F47中规定半导体生产工艺设备、子系统和元器件在经历一定电压暂降时仍能继续工作。

发明内容

本发明的目的在于提供一种MOCVD设备及其供电方法，以解决因电压暂降导致的产品和设备问题。

本发明首先一种MOCVD设备的供电方法，包括：监测主用电器件的输入电压，以获取所述主用电器件的输入电压的电压暂降信息，所述主用电器件包括用于使所述MOCVD设备中的托盘旋转的旋转电机；在所述电压暂降信息具有第一预设特征时，对所述主用电器件的输入电压进行补偿；以及在所述电压暂降信息具有第二预设特征时，使所述MOCVD设备运行预设停机程序，控制所述旋转电机停止旋转。

进一步，所述第一预设特征包括电压暂降幅度不超过第一预设阈值，且持续时间不超过第二预设阈值。

进一步，所述第二预设特征包括电压暂降幅度超过第一预设阈值，且持续时间超过第二预设阈值。

进一步，所述第二预设特征包括输入电压缺相。

进一步，所述第一预设阈值为所述主用电器件的输入电压额定值的40％到60％，所述第二预设阈值为0.5秒到1.5秒。

进一步，所述的MOCVD设备的供电方法，还包括：在所述输入电压未出现电压暂降时，对所述主用电器件的输入电压进行平滑处理。

本发明还提供一种MOCVD设备，包括主用电器件，所述主用电器件包括使所述MOCVD设备中的托盘旋转的旋转电机和中控器件；工厂供电输出侧线路，与所述主用电器件相连，用于向所述主用电器件提供输入电压；电源质量监测装置，安装在所述工厂供电输出侧线路上，用于获取所述输入电压的电压暂降信息；电压暂降保护装置，位于所述工厂供电输出侧线路与所述主用电器件之间，并与所述主用电器件连接，所述电压暂降保护装置在所述电压暂降信息具有第一预设特征或具有第二预设特征时，对所述输入电压进行补偿；所述中控器件用于在所述电压暂降信息具有第二预设特征时，使所述MOCVD设备运行预设停机程序，控制所述旋转电机停止旋转。

进一步，所述电源质量监测装置与所述中控器件连接，所述电源质量监测装置将获取到的所述电压暂降信息传输给所述中控器件，由所述中控器件判断所述电压暂降信息是否具有所述第一预设特征或所述第二预设特征。

进一步，所述电源质量监测装置与所述中控器件连接，所述电源质量监测装置根据获取到的所述电压暂降信息判断所述电压暂降信息是否具有所述第一预设特征或所述第二预设特征，并将判断结果传输给所述中控器件。