[实用新型]防探针脱落的薄膜探针头及薄膜探针卡有效
| 申请号： | 202220033173.3 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN217007577U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 于海超;赵梁玉;周明 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/073 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 徐丹 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 脱落 薄膜 | ||
1.一种防探针脱落的薄膜探针头，包括提供一作用面（311）的支撑体（31）、覆在所述作用面（311）上的薄膜（32）、设置于薄膜（32）内的互连线（34）以及突出于薄膜（32）表面的探针（33）；所述探针（33）包括针座（331）和针尖（332）；其特征在于：所述针座（331）的外周上突出有一卡嵌阻挡部（3311），该卡嵌阻挡部（3311）埋嵌于薄膜（32）内，其卡嵌阻挡部（3311）底面至薄膜（32）表面具有一距离（A）。
2.根据权利要求1所述薄膜探针头，其特征在于：所述互连线（34）的端部一体连接于对应探针（33）的针座（331）上，以此互连线（34）与探针（33）为一体制作成型的整体；并且，所述互连线（34）至薄膜（32）表面具有一距离，即互连线（34）作为所述卡嵌阻挡部（3311）。
3.根据权利要求1所述薄膜探针头，其特征在于：所述探针（33）的针座（331）朝向薄膜（32）的表面中部设有凹陷（3312）。
4.一种防探针脱落的薄膜探针卡，包括PCB板（1）、连接件（2）以及薄膜探针头（3）；所述薄膜探针头（3）包括提供一作用面（311）的支撑体（31）、覆在所述作用面（311）上的薄膜（32）、设置于薄膜（32）内的互连线（34）以及突出于薄膜（32）表面的探针（33）；所述探针（33）包括针座（331）和针尖（332）；其特征在于：所述针座（331）的外周上突出有一卡嵌阻挡部（3311），该卡嵌阻挡部（3311）埋嵌于薄膜（32）内，其卡嵌阻挡部（3311）底面至薄膜（32）表面具有一距离（A）。
5.根据权利要求4所述薄膜探针卡，其特征在于：所述互连线（34）的端部一体连接于对应探针（33）的针座（331）上，以此互连线（34）与探针（33）为一体制作成型的整体；并且，所述互连线（34）至薄膜（32）表面具有一距离，即互连线（34）作为所述卡嵌阻挡部（3311）。
6.根据权利要求4所述薄膜探针卡，其特征在于：所述探针（33）的针座（331）朝向薄膜（32）的表面中部设有凹陷（3312）。
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