[实用新型]一种防倒灌的补液装置有效
申请号: | 202220047717.1 | 申请日: | 2022-01-10 |
公开(公告)号: | CN216698401U | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 李增彪;何悦;方超炎;华毓玮;郝铭;任勇;陈德爽 | 申请(专利权)人: | 横店集团东磁股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 黄建祥 |
地址: | 322118 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 倒灌 补液 装置 | ||
本实用新型属于PERC电池钝化技术领域,具体公开了一种防倒灌的补液装置,该防倒灌的补液装置包括补液罐和反应槽,补液罐上设有进液管和出液管,进液管与补液罐连通且进液管上设有进液口,出液管与补液罐连通且出液管设有出液口,出液管内设置有单向阀,出液口与反应槽连通。上述防倒灌的补液装置通过单向阀的设置,能够避免在补液过程中某些液体分解产生的气体造成液体在补液罐中倒灌的情况发生,避免了物料等的浪费,同时安全性能较高,保证了使用人员的健康和安全。
技术领域
本实用新型涉及PERC电池钝化技术领域,尤其涉及一种防倒灌的补液装置。
背景技术
随着高效太阳电池研发的不断推进,优质的表面钝化己成为高转换效率太阳电池不可或缺的技术之一。近年来,钝化发射区背面电池(PERC)技术得到了广泛关注,PERC即钝化发射极背面接触电池,是一种发射极与背面双面钝化的太阳电池。
PERC电池的工艺流程包括以下步骤:制绒→扩散→SE激光→氧化→刻蚀碱抛→退火→背膜→正膜→背膜激光开槽→丝网印刷→烧结→光注入或电注入→测试分拣,其中,湿制程工艺包括制绒和刻蚀碱抛两道工序,此工序能够对硅片表面进行特殊化处理,直接影响太阳能电池的最终效率。
湿制程工艺一般是在槽式设备中进行的,需要用到双氧水、酸碱、添加剂等各种各样的液体,涉及多种化学反应,并且槽式设备中的液体在反应的过程中需要维持特定的浓度,因此,槽式设备中的每个槽体均配备有补液装置,当反应一定批次后就需要进行补液以维持其浓度保持稳定。然而在补液过程中,某些液体,例如双氧水在碱性条件下会出现分解,产生的气体会带动液体在补液装置中发生倒灌,存在浪费及安全隐患等问题,另外,由于槽体内反应温度较高,可以达到80℃上下,高温条件会进一步加快分解的速率,导致倒灌的情况更加严重,具有安全隐患,容易危及操作人员的安全。
因此,亟需一种防倒灌的补液装置,能够避免补液装置在补液的过程中发生液体倒灌的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种防倒灌的补液装置,以解决补液装置在补液的过程中发生液体倒灌的问题。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
本实用新型提供一种防倒灌的补液装置,该防倒灌的补液装置包括:
补液罐,所述补液罐上设有进液管和出液管,所述进液管与所述补液罐连通且所述进液管上设有进液口,所述出液管与所述补液罐连通且所述出液管设有出液口,所述出液管内设置有单向阀;
反应槽,所述出液口与所述反应槽连通。
可选地,所述单向阀包括挡板和固定板,所述固定板与所述出液管的内壁固定连接,所述挡板与所述固定板转动连接,所述挡板被配置为能够封堵所述出液管。
可选地,所述固定板上与所述挡板转动连接的一端设置有凸台,所述挡板能够与所述凸台抵接。
可选地,所述凸台与所述出液管的内壁具有夹角α,所述夹角α的取值范围为30°~60°。
可选地,所述挡板包括固定端和自由端,所述固定端与所述固定板转动连接,所述自由端的质量大于所述固定端的质量。
可选地,所述固定板上远离与所述挡板转动连接的一端设置有限位槽,所述挡板上对应设置有限位凸起,所述限位凸起能够卡接在所述限位槽内。
可选地,所述出液管内设有气动阀,所述气动阀设置于所述单向阀的上游,所述气动阀被配置为控制所述出液管的通断。
可选地,所述补液罐内设有液位计,所述液位计被配置为测量所述补液罐内液面的高度。
可选地,所述补液罐上设有引流管,所述引流管与所述补液罐连通,所述引流管的一端设有引流口。
可选地,所述补液罐为恒压补液罐。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的