[实用新型]应用于夹取装置上的限位块

说明书

本实用新型提供一种应用于夹取装置上的限位块，其中，所述限位块上设有限位槽，所述限位槽的两侧分别设有滤水侧壁，所述滤水侧壁上包括纵向设置的滤水间隙。采用该种结构的应用于夹取装置上的限位块，可使得液体和颗粒物可从滤水间隙中流过，有效避免大量液体和颗粒物附着在限位块上，避免液体在夹取装置的带动下滴的到处都是，提高生产过程中的安全性，该应用于夹取装置上的限位块结构简单，适用范围广泛。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种应用于夹取装置上的限位块。

背景技术

随着国家对半导体集成电流产业的大力投资和扶持，晶圆厂如雨后春笋般拔地而起，在半导体制造的整个流程中，光罩(mask)制造为从版图到晶圆制造中间的一个过程，这一部分时流程衔接的关键部分。在光罩的制造过程中需要对其进行清洁，若采用人工处理的方式将光罩从清洗容器中取出，长时间的重复劳动会使得操作人员十分疲惫，但若采用现有技术中的夹具直接进行夹取，液体会大量地附着在夹具上，十分不便，还存在安全隐患。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种结构简单、滤水性好，适用范围广泛的应用于夹取装置上的限位块。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种应用于夹取装置上的限位块，所述限位块上设有限位槽，所述限位槽的两侧分别设有滤水侧壁，所述滤水侧壁上包括纵向设置的滤水间隙。

在本实用新型一个优选实施例中，所述滤水侧壁为“V”型侧壁，即所述“V”型侧壁包括内倾斜壁和外倾斜壁，并在所述内倾斜壁和外倾斜壁的连接处形成尖头部；

所述限位槽两侧的两个所述“V”型侧壁的尖头部相对而设，且所述“V”型侧壁中的内倾斜壁与其附着面形成锐角，并由所述内倾斜壁与其附着面之间的间隙构成所述滤水间隙。

在本实用新型一个优选实施例中，所述限位块上还设有底板，所述底板上开设有第一通孔。

在本实用新型一个优选实施例中，所述限位块的顶部均呈斜面结构。

在本实用新型一个优选实施例中，所述限位块中不设所述限位槽的位置处还设有夹臂连接块。

在本实用新型一个优选实施例中，所述夹臂连接块设于所述限位块中与所述限位槽相背的一面，且所述夹臂连接块上设有第二通孔。

通过采用上述技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型的应用于夹取装置上的限位块上包括设有滤水侧壁的限位槽，这样的结构设计可使得夹取装置在从液体中夹取物体时，通过限位块对被夹持物进行限位，同时，减少附着在限位块上的液体及颗粒物，提升生产过程中的清洁度，避免液体在夹取装置的带动下滴的到处都是，提高生产过程中的安全性，该应用于夹取装置上的限位块结构简单，适用范围广泛。

附图说明

附图通过示例说明本实用新型，而非限制本实用新型。类似的附图标记指代类似的元件。

图1为一实施例中本实用新型的应用于夹取装置上的限位块的结构示意图；

图2为另一实施例中本实用新型的应用于夹取装置上的限位块的结构示意图；

图3为图2中的应用于夹取装置上的限位块的剖面图。

图4为一包括本实用新型的应用于夹取装置上的限位块的夹取装置的结构示意图。

附图标记

1 限位块

11 内倾斜壁

12 外倾斜壁

13 底板