[实用新型]两轴位移装置

权利要求书

1.一种两轴位移装置，其特征在于，包括支撑台(1)、平衡质量组件(2)和平面运动组件(3)；

所述平衡质量组件(2)包括第一质量块(201)、第二质量块(202)、第三质量块(203)和第四质量块(204)，所述第一质量块(201)和所述第二质量块(202)均可沿第一水平方向滑动地设置于所述支撑台(1)上，且所述第一质量块(201)和所述第二质量块(202)在第二水平方向相对设置，所述第三质量块(203)和所述第四质量块(204)均可沿所述第二水平方向滑动地设置于所述支撑台(1)上，且所述第三质量块(203)和所述第四质量块(204)在所述第一水平方向相对设置，所述第二水平方向垂直于所述第一水平方向；

所述平面运动组件(3)包括运动台(301)和驱动组件(302)，所述运动台(301)分别滑动连接至所述第一质量块(201)、所述第二质量块(202)、所述第三质量块(203)和所述第四质量块(204)，所述驱动组件(302)的定子相对所述平衡质量组件固定，所述驱动组件(302)的动子相对所述运动台(301)固定，以驱动所述运动台(301)沿所述第一水平方向和/或所述第二水平方向运动。

2.根据权利要求1所述的两轴位移装置，其特征在于，所述平衡质量组件(2)还包括第一导向机构(211)、第二导向机构(212)、第三导向机构(213)和第四导向机构(214)；

所述第一导向机构(211)包括第一导轨和第一移动部，所述第一导轨连接至所述支撑台(1)且沿所述第一水平方向延伸，所述第一移动部可滑动或滚动地和所述第一导轨配合，所述第一移动部和所述第一质量块(201)连接；

所述第二导向机构(212)包括第二导轨和第二移动部，所述第二导轨连接至所述支撑台(1)且沿所述第一水平方向延伸，所述第二移动部可滑动或滚动地和所述第二导轨配合，所述第二移动部和所述第二质量块(202)连接；

所述第三导向机构(213)包括第三导轨和第三移动部，所述第三导轨连接至所述支撑台(1)且沿所述第二水平方向延伸，所述第三移动部可滑动或滚动地和所述第三导轨配合，所述第三移动部和所述第三质量块(203)连接；

所述第四导向机构(214)包括第四导轨和第四移动部，所述第四导轨连接至所述支撑台(1)且沿所述第二水平方向延伸，所述第四移动部可滑动或滚动地和所述第四导轨配合，所述第四移动部和所述第四质量块(204)连接。

3.根据权利要求1所述的两轴位移装置，其特征在于，还包括防漂组件，所述防漂组件设置在所述支撑台(1)上，所述防漂组件包括：

第一防漂部，所述第一防漂部包括第一驱动电机(511)，所述第一驱动电机(511)的定子连接至所述支撑台(1)，所述第一驱动电机(511)的动子连接至所述第一质量块(201)的一端；

第二防漂部，所述第二防漂部包括第二驱动电机(512)，所述第二驱动电机(512)的定子连接至所述支撑台(1)，所述第二驱动电机(512)的动子连接至所述第二质量块(202)的一端；

第三防漂部，所述第三防漂部包括第三驱动电机(513)，所述第三驱动电机(513)的定子连接至所述支撑台(1)，所述第三驱动电机(513)的动子连接至所述第三质量块(203)的一端；

第四防漂部，所述第四防漂部包括第四驱动电机(514)，所述第四驱动电机(514)的定子连接至所述支撑台(1)，所述第四驱动电机(514)的动子连接至所述第四质量块(204)的一端。