[实用新型]探测装置

权利要求书

1.一种探测装置，用于检查电子部件的电气特性，其特征在于，

该探测装置具备：

多个探针，各探针分别包括柱塞筒和设置于上述柱塞筒的一端部的第一柱塞；

第一支架，具有多个第一通孔，上述多个第一通孔相互并行地配置，并且分别被上述多个探针中的一个探针插入；

第二支架，具有多个第二通孔，并与上述第一支架连结，其中，上述多个第二通孔相互并行地配置，并且分别被上述多个探针中的一个探针插入，

上述第一通孔中的每个第一通孔包括：

第一柱塞筒保持部，在上述第一支架的上述第二支架侧的表面开口，并被上述柱塞筒的上述一端部插入；

第一柱塞保持部，与上述第一柱塞筒保持部连通，并且在上述第一支架的与上述第二支架相反侧的表面开口，并被上述第一柱塞插入，

上述第二通孔中的每个第二通孔包括：

第二柱塞筒保持部，在上述第二支架的上述第一支架侧的表面开口，并被上述柱塞筒的另一端部插入，

上述第二支架中上述第二柱塞筒保持部开口的上述表面与上述第一支架中上述第一柱塞筒保持部开口的上述表面在上述探针的轴向上分离。

2.根据权利要求1所述的探测装置，其特征在于，

上述多个第一通孔中的相邻的第一通孔彼此间的在相对于上述轴向垂直的方向上的间隔、且是上述第一柱塞筒保持部的位置上的间隔为0.05mm以下。

3.根据权利要求1或2所述的探测装置，其特征在于，

上述多个第一通孔中的相邻的第一通孔彼此间的在相对于上述轴向垂直的方向上的间隔、且是上述第一柱塞保持部的位置上的间隔为0.05mm以下。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的探测装置，其特征在于，

上述第一柱塞筒保持部的壁面与上述柱塞筒之间的间隙小于上述第一柱塞保持部的壁面与上述第一柱塞之间的间隙。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的探测装置，其特征在于，

上述探针中的每个探针还包括第二柱塞，上述第二柱塞设置在上述柱塞筒的上述另一端部，

上述第二通孔中每个上述第二通孔还包括第二柱塞保持部，上述第二柱塞保持部与上述第二柱塞筒保持部连通，并且在上述第二支架的与上述第一支架相反侧的表面开口，并被上述第二柱塞插入。

6.根据权利要求5所述的探测装置，其特征在于，

上述第二柱塞筒保持部的壁面与上述柱塞筒之间的间隙小于上述第二柱塞保持部的壁面与上述第二柱塞之间的间隙。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的探测装置，其特征在于，

上述第一柱塞筒保持部的在上述轴向上的长度以及上述第二柱塞筒保持部的在上述轴向上的长度分别小于上述柱塞筒的在上述轴向上的长度的1/2。

8.根据权利要求7所述的探测装置，其特征在于，

上述第一柱塞筒保持部的在上述轴向上的长度与上述第二柱塞筒保持部的在上述轴向上的长度相等。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的探测装置，其特征在于，

在上述第一支架中上述第一柱塞筒保持部开口的上述表面与上述第二支架中上述第二柱塞筒保持部开口的上述表面之间，形成有空洞。

10.根据权利要求9所述的探测装置，其特征在于，

上述空洞的在上述轴向上的长度为0.2mm以上。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的探测装置，其特征在于，

上述第一支架还包括凸部，上述凸部设置于该第一支架中的上述第二支架侧的端部，且向上述第二支架侧突出，

上述第二支架还包括凹部，上述凹部在上述轴向上具有比上述凸部的长度长的长度，上述凹部与上述凸部通过彼此侧面嵌合，

上述第一柱塞筒保持部在上述凸部的顶面开口，

上述第二柱塞筒保持部在上述凹部的底面开口。