[实用新型]一种风冷式分子泵

说明书

本实用新型涉及分子泵技术领域，具体涉及风冷式分子泵，包括泵体和风机，所述泵体的外表面上开设有多条水平设置的散热槽；所述风机设置在泵体侧边，所述风机产生的气流从散热槽中通过；本实用新型通过将风机设置在泵体侧边，即将传统的垂直向风冷改成水平向风冷，实现降低高度尺寸、降低加工成本的目的，且降低维修成本，风机一旦损坏，则容易替换，同时风机的布置更有灵活度。

技术领域

本实用新型涉及分子泵技术领域，具体涉及风冷式分子泵。

背景技术

分子泵有多种冷却方式，其中市面上的风冷泵一般规格较大，且风冷方式是从底面向上吹，泵体结构复杂，加工工时长，分子泵加工成本高，整体结构上，原风冷方式的泵高度尺寸偏大，有时候会有安装空间的限制。

实用新型内容

为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种降低加工成本、结构紧凑的风冷式分子泵。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

提供一种风冷式分子泵，包括泵体和风机，所述泵体的外表面上开设有多条水平设置的散热槽；

所述风机设置在泵体侧边，所述风机产生的气流从散热槽中通过。

本实用新型的有益效果在于：通过将风机设置在泵体侧边，即将传统的垂直向风冷改成水平向风冷，实现降低高度尺寸、降低加工成本的目的，且降低维修成本，风机一旦损坏，则容易替换，同时风机的布置更有灵活度。

附图说明

图1所示为本实用新型具体实施方式的一种风冷式分子泵的立体图；

图2所示为本实用新型具体实施方式的一种风冷式分子泵的侧视图；

标号说明：1、泵体；2、风机；3、散热槽；4、下轴承座；5、支架；6、地脚；7、出气口；8、线源口。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

请参照图1和图2所示，本实用新型的一种风冷式分子泵，包括泵体1和风机2，所述泵体1的外表面上开设有多条水平设置的散热槽3；

所述风机2设置在泵体1侧边，所述风机2产生的气流从散热槽3中通过。

从上述描述可知，通过将风机2设置在泵体1侧边，即将传统的垂直向风冷改成水平向风冷，实现降低高度尺寸、降低加工成本的目的，且降低维修成本，风机2一旦损坏，则容易替换，同时风机2的布置更有灵活度。

进一步的，所述散热槽3底部切面为弧形或直线。

进一步的，所述风冷式分子泵还包括有下轴承座4，所述下轴承座4连接在泵体1底部，所述风机2通过支架5与下轴承座4底部连接。

进一步的，所述下轴承座4底部上设置有地脚6，所述地脚6的高度大于支架5的厚度。

从上述描述可知，通过地脚6的高度大于支架5的厚度，避免挤压支架5，造成风机2位置变化。

进一步的，所述泵体1侧壁上还设置有出气口7和线源口8，所述出气口7和线源口8相邻设置；

所述出气口7、线源口8与泵机中心轴连线的位置向量之和方向与风机2至泵机中心轴连线位置向量方向相反。

从上述描述可知，通过所述出气口7、线源口8与泵机中心轴连线的位置向量之和方向与风机2至泵机中心轴连线位置向量方向相反，避免气流对出气口7的气体进行冷却，或者对线源进行冷却造成数据、电源波动。

实施例一

一种风冷式分子泵，包括泵体和风机，所述泵体的外表面上开设有多条水平设置的散热槽；